東京エレクトロン：Supercritical・Timbre買収と太陽光パネル製造装置への参入

2000年10月、東京エレクトロンは米国のSupercritical Systemsの全株式を取得した。東哲郎社長は2000年6月の株主向けの書簡で、参入障壁が高く技術で長く先行できる市場に絞る製品戦略を示した。同じ書簡では、中核製品を軸に他社との提携も視野に入れ、工程をまたぐ技術を提供するとした。2001年3月期の年報は、買収の狙いを『The acquisition of Supercritical Systems gives Tokyo Electron a breakthrough cleaning technology for sub-100nm nodes.』（訳：買収で100nm未満の世代に向けた新しい洗浄技術を得る）と記した。2000年3月期には、売上高に占める自社製品の比率が94.9%に達していた。自前の開発を待つより、技術を持つ米国のベンチャーを取り込む方が次世代品を早く出せると判断したとみられる。

2001年2月、東京エレクトロンは米国のTimbre Technologiesの全株式を取得した。2001年3月期の年報は、Timbreの買収で先進的プロセス制御（APC）向けの計測を製品群に加えられると説明した。東哲郎社長は、装置の中と装置の間に組み込む工程制御が、安定した高い歩留まりを支えると語った。そのうえで『The ability to deliver integrated process control capability will be a key factor differentiating suppliers of semiconductor production equipment.』（訳：統合した工程制御の能力を提供できるかどうかが、半導体製造装置メーカーを分ける鍵になる）と見通した。2001年4月には半導体製造装置部門を製品別の事業単位から3つのグループに組み替え、計測と工程制御を担うグループを置いた。単体装置の性能より、複数の工程をつないで歩留まりを上げる提案力に競争の焦点が移ると見た買収と考えられる。

2002年3月期の連結売上高は前期比42.3%減の4,178億円となり、純損失199億円を計上した。東哲郎社長は、ITバブルの崩壊と米国景気の後退で業界史上最悪の市況になったと説明した。そのうえで『In fact, it has made us realize that we have to change to a more responsive and efficient organization.』（訳：実のところ、より即応できる効率的な組織へ変わらなければならないと思い知らされた）と振り返った。期中には設計・製造の外注人員3,000人を7割以上削減し、東京エレクトロン東北の2工場を1つに集約した。固定費は前期より300億円超を削減したが、研究開発費は前期と同じ水準を保った。2003年3月期は構造改革費用206億円と繰延税金資産の見直しが重なり、純損失416億円を計上した。

2003年3月、東京エレクトロンは子会社の東京エレクトロンデバイスを東京証券取引所市場第二部に上場させた。東京エレクトロンデバイスは、海外の半導体製品やボード製品を国内で販売する電子部品部門の事業を担っていた。電子部品部門の売上高は、2002年3月期に国内の半導体需要の停滞で17.4%減の737億円となった。2003年3月期の財務活動によるキャッシュ・フローは、前期のマイナス572億円からマイナス99億円に改善した。年報は改善の要因に、東京エレクトロンデバイスの上場に伴う公募増資を挙げた。赤字が続くなかで商社機能の子会社に市場から資金を調達させ、本体の経営資源を装置事業に集中させる狙いがあったと推察される。

2002年1月、東京エレクトロンは上海に中国現地法人を設立した。東哲郎社長は、中国を成長市場と位置づけ、2002年4月に上海で中国での直接の事業を始めたと説明した。上海の人員は当初の約70名から、2003年3月末には約150名に増えた。2003年4月には、中国現地法人Tokyo Electron (Shanghai)を新たに設立した。同年8月には、米国でTEL Technology Center, Americaを設立した。2003年の年報は、ニューヨーク州立大学のオールバニー・ナノテック・プロジェクトを核に、海外の研究開発拠点を再編すると記した。国内の顧客が投資を絞るなかで、工場建設が見込める中国と、先端研究が集まる米国に先回りして拠点を置いたのだろう。

2003年6月、佐藤潔氏が社長に就任し、東哲郎社長は代表取締役会長に就任した。後任は取締役3人で構成する指名委員会が選び、3月10日の取締役会で決まった。指名委員会は、取締役と最高経営責任者の候補を選ぶ組織として、2001年3月期に取締役会の中に設けられていた。佐藤潔氏は当時46歳で役員の経験がなく、レジストの塗布・現像装置の事業の責任者だった。東京エレクトロンには、2期続けて赤字を出した経営陣は交代するという不文律があった。連結経常損益は、2002年3月期が194億円、2003年3月期が2億円の損失だった。東哲郎会長は後に、指名委員会の意見に拘束力はなく続投もできたとしたうえで、『でも僕が退いた方が、会社を変えようというメッセージが伝わる。』と語った。

2010年3月期、東京エレクトロンは売上高4,186億円で、営業損失22億円と純損失90億円を計上した。竹中博司社長は、世界同時不況で半導体メーカーの設備投資が大幅に抑えられたことを要因に挙げた。2年前の2008年3月期は、売上高9,060億円・営業利益1,684億円だった。2009年3月期には、売上高5,080億円・営業利益147億円まで減少した。2009年6月の定時株主総会では、2010年3月期を売上高3,000億円・営業損失630億円と見通していた。竹中博司社長は、不要不急の固定費を全社で削減する一方、技術開発投資は従来と同じ高い水準で続けたと説明した。

東京エレクトロンは2010年7月に東京エレクトロン宮城を設立し、2011年4月に東京エレクトロンATの事業の一部を承継させた。宮城県大和町では250億円を投じ、プラズマエッチング装置の開発から製造までを担う一貫工場を建設した。東日本大震災で工事が遅れ、開発棟と事務棟は2011年7月、生産棟は11月の稼働を予定した。東京エレクトロン宮城の北山博文社長は、約50億ドルのエッチング装置市場で3〜5年のうちに売上規模を2倍程度にする目標を示した。国内に建てた理由を問われると、『技術革新の激しい市場の中で勝ち抜くためには、商品開発力での差別化が最も重要です。』と答えた。開発と製造を同じ敷地に置いて新製品の投入を早めることが、微細化の競争で優位を保つ条件だと見定めたと思われる。

2012年11月、東京エレクトロンはスイスの太陽電池製造装置会社Oerlikon Solar Holdingの全株式を取得した。太陽電池の分野には、2008年2月にシャープとの合弁会社で薄膜シリコン太陽電池用CVD装置の共同開発を始め、参入していた。2009年6月の定時株主総会では、太陽電池製造装置を売上高1,000億円超の3本目の収益源に育てる目標を掲げた。同じ総会で、太陽電池の市場は世界経済の悪化と政府援助の縮小で減速したと説明した。2012年3月期の営業利益は604億円で、前期の978億円から減少した。半導体装置の利益が再び減少するなか、政府援助に左右される太陽電池装置の製造を自社で抱えたことが、次の重荷になったと読める。