歴代の筆頭株主 2006年から2025年・5時点
| 時点 | 筆頭株主 | 持株比率 |
|---|---|---|
| 2006年3月時点 | 日本マスタートラスト信託銀行 | 8.46% |
| 2010年3月時点 | 日本マスタートラスト信託銀行 | 11.59% |
| 2015年3月時点 | 日本マスタートラスト信託銀行 | 10.51% |
| 2020年3月時点 | 日本マスタートラスト信託銀行 | 20.12% |
| 2025年3月時点 | 日本マスタートラスト信託銀行 | 25.23% |
大株主の推移（2006年-2026年）
| 順位 | 1980年調査中 | 1990年調査中 | 2000年調査中 | 2005年（2006/3） | 2010年（2010/3） | 2015年（2015/3） | 2020年（2020/3） | 2025年（2025/3） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | - | - | - | 8.46% | 11.59% | 10.51% | 20.12% | 25.23% |
| 2 | - | - | - | 5.94% | 7.82% | 7.01% | 9.54% | 10.33% |
| 3 | - | - | - | 東京放送5.66% | 4.83% | 5.87% | - | 3.28% |
| 4 | - | - | - | 5.20% | - | 5.58% | 3.84% | - |
| 5 | - | - | - | 第一生命保険2.65% | JPモルガン証券1.82% | 4.27% | 2.65% | - |
| 6 | - | - | - | 2.56% | 1.66% | 3.26% | 1.95% | - |
| 7 | - | - | - | - | 1.66% | BNPパリバ証券2.01% | 1.86% | 1.44% |
| 8 | - | - | - | 1.66% | 1.64% | 1.96% | 1.68% | 1.40% |
| 9 | - | - | - | - | - | 1.44% | - | - |
| 10 | - | - | - | 1.38% | 1.31% | みずほ証券1.23% | 1.65% | JPモルガン証券1.23% |
| （当時: 東京エレクトロン）有価証券報告書（2006年3月期） | （当時: 東京エレクトロン）有価証券報告書（2010年3月期） | （当時: 東京エレクトロン）有価証券報告書（2015年3月期） | （当時: 東京エレクトロン）有価証券報告書（2020年3月期） | （当時: 東京エレクトロン）有価証券報告書（2025年3月期） |
前半（1950〜2000年）は10年刻み、直近20年（2005〜2025年）は5年刻みのスナップショット。1980年以前は外部の歴史的史料（株式会社年鑑、会社年鑑等）、それ以降は有価証券報告書を出典とする。比率は各期の総発行株式数に対して算出。
資本金の推移（1980年-2026年）
| 年月日 | 内容 | 割当率 | 1株払込金円 | 増加資本金百万円 | 資本金百万円 | 発行済株式数千株 | 推定時価総額百万円 | 備考 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1980-06-03 | 公募 | 1,540 | 207 | 760 | 15,200 | 23,408 | ||
| 1980-10-01 | 無償増資 | 1:0.25 | 190 | 950 | 19,000 | |||
| 1981-07-01 | 公募 | 4,730 | 100 | 1,050 | 21,000 | 99,330 | ||
| 1981-10-01 | 無償増資 | 1:0.3 | 315 | 1,365 | 27,300 | |||
| 1982-10-16 | 公募 | 3,050 | 200 | 1,975 | 39,490 | 120,445 | ||
| 1982-11-20 | 無償増資 | 1:0.3 | 410 | 1,775 | 35,490 | |||
| 2012-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2013-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2014-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2015-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2016-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2017-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2018-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2019-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2020-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2021-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2022-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2023-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2024-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2025-03 | 54,961 | 有価証券報告書 | ||||||
| 2026-03 | 54,961 | 有価証券報告書 |
資本金（百万円）（百万円）
資本異動総覧 1983年版（東洋経済新報社, 1982年11月）より作成（収録は1980年〜2026年）。金額は百万円・単位未満四捨五入、 株式数は千株。増資後の資本金は、その増資が資本に組み入れられた時点の額。 推定時価総額は、払込金が額面を上回る増資（公募・第三者割当）について 「1株払込金×増資後株式数」で算出した目安で、市場での売買価格そのものではない （公募価格は市場価格より低く置かれるのが通例のため、下限寄りに出る）。 1983年以降は同資料の収録範囲外。グラフの後半は 有価証券報告書（EDINET の XBRL）の資本金（単体）で補い、 どちらの資料にも無い期間は欠測として描く。
直近10年の大株主（2016年-2026年）
筆頭（1位）2〜3位数値は持株比率(%)／保有株数。株主名をクリックで正式名称を表示
| 株主名 | FY152016/3 | FY162017/3 | FY172018/3 | FY182019/3 | FY192020/3 | FY202021/3 | FY212022/3 | FY222023/3 | FY232024/3 | FY242025/3 | FY252026/3 | FY26 | FY27 | FY28 | FY29 | FY30 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 14.62%24,158,000株 | 16.17%26,720,000株 | 17.51%28,747,000株 | 18.75%30,791,000株 | 20.12%31,397,000株 | 19.98%31,205,000株 | 26.87%42,017,000株 | 27.01%42,310,000株 | 25.20%117,029,000株 | 25.23%115,962,000株 | 24.43%111,481,000株 | - | - | - | - | - | |
| 10.52%17,385,000株 | 11.20%18,508,000株 | 11.23%18,432,000株 | 10.70%17,573,000株 | 9.54%14,888,000株 | 8.47%13,232,000株 | 8.78%13,743,000株 | 10.93%17,132,000株 | 10.41%48,367,000株 | 10.33%47,496,000株 | 10.13%46,224,000株 | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | 3.83%5,991,000株 | 3.71%5,801,000株 | 3.47%5,435,000株 | 3.25%15,112,000株 | 3.28%15,112,000株 | 3.31%15,112,000株 | - | - | - | - | - | |
| 4.67%7,727,000株 | 4.67%7,727,000株 | 4.70%7,727,000株 | 4.31%7,077,000株 | 3.84%5,991,000株 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | 5.58%8,712,000株 | 5.31%8,301,000株 | 5.20%8,137,000株 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | - | - | 3.78%5,927,000株 | 3.39%15,743,000株 | 2.82%12,987,000株 | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | 2.76%4,536,000株 | 5.86%9,627,000株 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
| 2.63%4,346,000株 | 1.96%3,243,000株 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | 3.26%14,891,000株 | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | - | - | 1.73%2,710,000株 | 2.10%9,778,000株 | 2.04%9,397,000株 | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | - | - | - | - | 2.01%9,257,000株 | 2.53%11,569,000株 | - | - | - | - | - | |
| 1.48%2,450,000株 | 1.53%2,533,000株 | 1.78%2,932,000株 | 1.54%2,538,000株 | - | 1.54%2,416,000株 | 1.65%2,580,000株 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | 1.68%2,628,000株 | 1.43%2,233,000株 | 1.42%2,229,000株 | 1.37%2,156,000株 | 1.80%8,374,000株 | - | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | - | - | 0.95%1,501,000株 | 1.57%7,291,000株 | 1.40%6,466,000株 | 1.62%7,408,000株 | - | - | - | - | - | |
| - | - | 1.27%2,099,000株 | 1.89%3,108,000株 | 1.66%2,599,000株 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | - | - | - | 1.56%7,288,000株 | 1.44%6,640,000株 | 1.47%6,738,000株 | - | - | - | - | - | |
| 1.60%2,645,000株 | 1.40%2,314,000株 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | - | - | 1.26%1,974,000株 | 1.33%6,196,000株 | 1.38%6,377,000株 | 1.45%6,644,000株 | - | - | - | - | - | |
| 1.59%2,634,000株 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | 1.17%1,837,000株 | 1.22%1,917,000株 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | 1.40%6,418,000株 | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | - | - | 0.94%1,482,000株 | 1.01%4,706,000株 | 1.23%5,688,000株 | - | - | - | - | - | - | |
| 1.40%2,329,000株 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | - | 0.92%1,440,000株 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
| - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | 1.24%5,678,000株 | - | - | - | - | - |
有価証券報告書「大株主の状況」の上位 10 位をもとに作成。株主名は NFKC 正規化と「株式会社」「（信託口）」等の除去で名寄せしているが、 合併・社名変更・信託口番号変更などで別行になることがある。持株比率は発行済株式総数から自己株式等を控除して算出する場合があり、控除の基準は社によって違う。