科目	単位	2017/3	2018/3	2019/3	2020/3	2021/3	2022/3	2023/3	2024/3	2025/3	2026/3	直近YoY
連結区分		連結	連結	連結	連結	連結	連結	連結	連結	連結	連結
会計基準		日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準
損益計算書
売上高	百万円	799,719	1,130,728	1,278,240	1,127,286	1,399,102	2,003,805	2,209,025	1,830,527	2,431,568	2,443,533	0.5%
売上原価	百万円	477,427	655,695	752,057	675,344	834,157	1,091,983	1,224,617	1,000,257	1,285,280	1,335,652	3.9%
売上総利益	百万円	322,291	475,032	526,183	451,941	564,945	911,822	984,408	830,269	1,146,287	1,107,880	▲3.4%
販売費及び一般管理費	百万円	166,594	193,860	215,612	214,649	244,259	312,551	366,684	374,006	448,967	482,944	7.6%
人件費	百万円	23,724	24,079	26,035	25,197	26,174	–	36,079	43,385	50,969	55,915	9.7%
営業利益	百万円	155,697	281,172	310,571	237,292	320,685	599,271	617,723	456,263	697,319	624,936	▲10.4%
営業外収益	百万円	2,931	2,758	11,354	8,452	5,492	5,980	10,066	12,164	12,627	10,758	▲14.8%
営業外費用	百万円	1,079	3,193	263	765	4,074	3,527	2,604	5,242	2,219	5,356	141.4%
経常利益	百万円	157,549	280,737	321,662	244,979	322,103	601,724	625,185	463,185	707,727	630,338	▲10.9%
特別利益	百万円	61	77	870	171	24	71	890	10,838	31	120,726	389338.7%
投資有価証券売却益	百万円	6	–	768	–	–	–	–	–	–	115,494	–
固定資産売却益	百万円	55	77	101	34	24	71	890	10,617	31	–	–
特別損失	百万円	8,494	5,572	1,024	524	5,090	5,097	1,219	584	1,645	2,884	75.3%
減損損失	百万円	362	925	–	–	–	–	438	–	447	931	108.3%
災害損失	百万円	7,521	–	–	–	–	–	–	–	–	–	–
税引前利益	百万円	149,116	275,242	321,508	244,626	317,038	596,698	624,856	473,439	706,114	748,180	6.0%
法人税等合計	百万円	33,867	70,842	73,280	59,419	74,096	159,622	153,272	109,475	161,980	173,726	7.3%
法人税等	百万円	40,633	83,434	72,478	65,177	82,568	162,708	173,704	124,001	172,376	176,507	2.4%
法人税等調整額	百万円	▲6,765	▲12,591	801	▲5,757	▲8,471	▲3,086	▲20,431	▲14,525	▲10,395	▲2,781	–
当期純利益	百万円	115,248	204,399	248,228	185,206	242,941	437,076	471,584	363,963	544,133	574,454	5.6%
非支配株主に帰属する当期純利益	百万円	39	28	–	–	–	–	–	–	–	–	–
親会社株主に帰属する当期純利益	百万円	115,208	204,371	248,228	185,206	242,941	437,076	471,584	363,963	544,133	574,454	5.6%
包括利益	百万円	119,998	206,152	242,696	187,084	305,801	486,183	501,421	478,281	476,095	624,335	31.1%
貸借対照表
総資産額	百万円	957,447	1,202,796	1,257,627	1,278,495	1,425,364	1,894,457	2,311,594	2,456,462	2,625,981	2,860,997	8.9%
流動資産	百万円	775,938	997,102	982,897	962,484	1,015,696	1,408,703	1,740,959	1,700,451	1,800,756	1,835,466	1.9%
現金及び預金	百万円	70,866	87,377	177,634	149,906	186,538	274,274	473,099	462,383	416,240	451,252	8.4%
現金及び現金同等物	百万円	164,366	257,877	232,634	247,959	265,993	335,648	472,471	461,608	485,072	505,414	4.2%
売上債権	百万円	133,858	159,570	146,971	150,134	191,700	433,948	464,889	391,423	485,626	525,898	8.3%
棚卸資産	百万円	236,255	344,070	354,218	392,063	415,342	473,844	652,207	762,956	749,124	713,116	▲4.8%
商品	百万円	152,629	220,497	234,102	267,625	269,772	183,512	236,795	284,451	291,523	286,052	▲1.9%
仕掛品	百万円	51,112	75,504	62,785	69,514	80,742	144,330	161,938	173,929	190,021	210,570	10.8%
原材料	百万円	32,514	48,069	57,331	54,924	64,828	146,002	253,474	304,576	267,580	216,494	▲19.1%
固定資産	百万円	181,508	211,603	274,730	316,011	409,667	485,754	570,634	756,011	825,225	1,025,530	24.3%
有形固定資産	百万円	100,441	125,952	150,069	175,580	196,967	223,078	259,088	337,366	441,706	589,335	33.4%
投資有価証券	百万円	24,119	33,128	27,853	38,374	105,065	144,972	165,507	277,706	200,013	225,453	12.7%
無形固定資産・無形資産	百万円	15,401	15,882	9,054	10,921	17,163	22,540	28,559	32,383	35,850	37,531	4.7%
のれん	百万円	0	0	0	0	0	0	0	0	0	–	–
負債合計	百万円	311,447	437,195	369,510	448,802	400,801	547,408	712,069	696,282	770,771	791,001	2.6%
流動負債	百万円	247,770	368,452	304,882	382,578	327,661	468,578	629,893	611,899	677,925	679,242	0.2%
仕入債務	百万円	79,217	108,607	75,448	95,938	90,606	120,908	116,317	92,359	108,036	127,844	18.3%
固定負債	百万円	63,677	68,742	64,628	66,224	73,140	78,829	82,175	84,383	92,846	111,758	20.4%
有利子負債合計	百万円	0	0	0	0	0	0	0	0	0	–	–
短期借入金	百万円	0	0	0	0	0	0	0	0	0	–	–
長期借入金	百万円	0	0	0	0	0	0	0	0	0	–	–
社債	百万円	0	0	0	0	0	0	0	0	0	–	–
純資産	百万円	645,999	771,509	888,117	829,692	1,024,562	1,347,048	1,599,524	1,760,180	1,855,209	2,069,996	11.6%
株主資本	百万円	628,543	750,843	869,977	806,652	937,468	1,210,537	1,433,141	1,478,063	1,639,195	1,795,683	9.5%
資本金	百万円	54,961	54,961	54,961	54,961	54,961	54,961	54,961	54,961	54,961	54,961	0.0%
資本剰余金	百万円	78,023	78,011	78,011	78,011	78,011	78,011	78,011	78,011	78,011	78,011	0.0%
利益剰余金	百万円	503,325	625,390	748,827	702,990	835,240	1,104,983	1,322,203	1,480,306	1,783,881	2,083,371	16.8%
自己株式	百万円	▲7,766	▲7,518	▲11,821	▲29,310	▲30,744	▲27,418	▲22,033	▲135,215	▲277,658	▲420,660	–
その他の包括利益累計額	百万円	14,551	16,302	10,770	12,648	75,508	124,615	154,453	268,771	200,733	250,614	24.8%
非支配株主持分	百万円	284	–	–	–	–	–	–	–	–	–	–
自己資本	百万円	645,715	771,509	888,117	829,692	1,024,562	1,347,048	1,599,524	1,760,180	1,855,209	2,069,996	11.6%
キャッシュ・フロー計算書
営業活動によるキャッシュ・フロー	百万円	136,948	186,582	189,572	253,117	145,888	283,387	426,270	434,720	582,174	539,732	▲7.3%
減価償却費	百万円	17,872	20,619	24,323	29,107	33,843	36,727	42,927	52,339	62,148	80,982	30.3%
のれん償却額	百万円	631	600	354	196	199	206	168	73	117	363	210.3%
投資活動によるキャッシュ・フロー	百万円	▲28,893	▲11,833	▲84,033	15,951	▲18,274	▲55,632	▲41,756	▲125,148	▲169,609	▲96,492	–
設備投資（有形固定資産の取得）	百万円	▲17,557	▲41,750	▲46,517	▲49,369	▲53,806	▲56,153	▲66,897	▲116,993	▲158,374	▲208,984	–
投資有価証券の売却	百万円	–	–	–	–	–	–	–	–	1,712	117,387	6756.7%
フリー・キャッシュ・フロー	百万円	108,055	174,749	105,539	269,068	127,614	227,755	384,514	309,572	412,565	443,240	7.4%
財務活動によるキャッシュ・フロー	百万円	▲39,380	▲82,549	▲129,761	▲250,374	▲114,525	▲167,256	▲256,534	▲325,012	▲388,836	▲425,359	–
配当金の支払	百万円	▲39,371	▲82,203	▲124,754	▲95,513	▲109,542	▲166,252	▲252,988	▲202,457	▲236,276	▲271,618	–
自己株式の取得	百万円	▲6	▲16	▲5,004	▲154,096	▲4,339	▲15	▲1,728	▲120,028	▲150,008	▲150,010	–
現金及び現金同等物の期末残高	百万円	164,366	257,877	232,634	247,959	265,993	335,648	472,471	461,608	485,072	505,414	4.2%
投資
設備投資額	百万円	–	–	49,700	54,600	53,800	57,200	74,400	121,800	162,100	216,000	33.3%
研究開発費	百万円	–	–	113,980	120,268	136,648	158,256	191,196	202,873	250,017	277,866	11.1%
うち販管費に計上	百万円	83,800	97,103	113,980	120,268	136,648	158,256	191,196	202,873	250,017	277,866	11.1%
収益性・安全性
売上高の前年比	%	–	41.4	13.0	▲11.8	24.1	43.2	10.2	▲17.1	32.8	0.5	–
売上総利益率	%	40.3	42.0	41.2	40.1	40.4	45.5	44.6	45.4	47.1	45.3	–
営業利益率	%	19.5	24.9	24.3	21.0	22.9	29.9	28.0	24.9	28.7	25.6	–
経常利益率	%	19.7	24.8	25.2	21.7	23.0	30.0	28.3	25.3	29.1	25.8	–
当期純利益率	%	14.4	18.1	19.4	16.4	17.4	21.8	21.3	19.9	22.4	23.5	–
ROE	%	19.1	29.0	30.1	21.8	26.5	37.2	32.3	21.8	30.3	29.6	–
ROA（純利益÷総資産）	%	12.0	17.0	19.7	14.5	17.0	23.1	20.4	14.8	20.7	20.1	–
自己資本比率	%	67.4	64.1	70.6	64.9	71.9	71.1	69.2	71.7	70.6	72.4	–
D/Eレシオ	倍	0.00	0.00	0.00	0.00	0.00	0.00	0.00	0.00	0.00	–	–
研究開発費率	%	–	–	8.9	10.7	9.8	7.9	8.7	11.1	10.3	11.4	–
株式・市場評価
1株当たり当期純利益（EPS）	円	702.26	1,245.48	504.53	390.19	520.73	935.95	1,007.82	783.75	1,182.40	1,254.57	6.1%
期末株価	円	12,156.12	20,014.86	15,998.65	20,356.21	46,787.59	63,260.86	48,133.48	39,571.54	20,112.62	37,235.64	85.1%
時価総額	億円	20,083	33,067	26,431	32,002	73,555	99,452	75,671	186,632	94,858	175,615	85.1%
PER	倍	17.31	16.07	10.57	17.39	29.95	22.53	15.92	50.49	17.01	29.68	–
PBR	倍	3.10	4.28	2.98	3.86	7.18	7.38	4.73	10.49	5.01	8.28	–
発行済株式数	千株	165,210	165,210	165,210	157,210	157,210	157,210	157,210	471,632	471,632	471,632	0.0%
1株当たり配当金	円	352	624	758	588	781	1,403	1,711	393	592	628	6.1%
うち中間配当	円	128	277	413	246	360	643	857	148	265	264	▲0.4%
配当性向（単体）	%	123.7	112.1	39.7	52.4	57.4	61.0	55.1	53.6	64.1	60.3	–
従業員
従業員数（連結）	人	11,241	11,946	12,742	13,837	14,479	15,634	17,204	17,702	19,573	20,236	3.4%
従業員数（単体）	人	1,531	1,396	1,494	1,588	1,670	1,771	1,969	2,036	2,224	2,309	3.8%
平均年間給与（単体）	千円	9,496	10,768	12,720	11,493	11,790	12,850	13,989	12,727	13,543	13,804	1.9%
平均年齢（単体）	歳	–	–	44.3	44.4	44.3	44.0	43.6	43.7	43.5	43.1	▲0.9%
平均勤続年数（単体）	年	18.1	18.5	18.4	17.9	17.6	16.4	15.6	15.5	14.9	14.7	▲1.3%
各期の取締役
河合利樹		●	●	●	●	●	●	●	●	●	●
佐々木貞夫		●	●	●	●	●	●	●	●	●	●
佐々木道夫			●	●	●	●	●	●	●	●	●
市川佐知子						●	●	●	●	●	●
ジョセフ・クラフト									●	●	●
鈴木ゆかり									●	●	●
田原計志											●
篠原幸弘											●
布川好一				●	●	●	●	●	●	●
江田麻季子				●	●	●	●	●
常石哲男		●	●	●	●	●
長久保達也		●	●	●	●	●
春原清		●	●	●	●	●
池田世崇				●	●	●
三田野好伸				●	●	●
二世				●	●	●
東哲郎		●	●
北山博文		●	●
井上弘		●	●
飽本正巳		●	●
堀哲朗		●	●
レイク二世		●	●
鄭基市		●
取締役の報酬等の総額
取締役	百万円	2,586	4,494	5,015	2,779	3,539	5,434	2,323	2,193	2,446	3,002	22.7%
員数	人	11	10	10	12	8	8	8	8	3	4	33.3%
社外役員	百万円	105	62	85	66	77	104	88	69	76	113	48.7%
員数	人	6	2	3	4	3	4	4	3	5	5	0.0%
セグメント
売上高
半導体製造装置	百万円	749,893	1,055,234	1,166,781	1,060,997	1,315,200	1,943,843	2,155,206	1,830,527	2,431,568	–	–
FPD製造装置	百万円	49,387	75,068	111,261	66,092	83,772	59,830	53,674	–	–	–	–
その他	百万円	438	425	197	197	129	131	144	–	–	–	–
セグメント利益
半導体製造装置	百万円	182,709	314,602	326,716	270,496	362,526	667,437	696,378	456,263	697,319	–	–
FPD製造装置	百万円	4,618	13,299	24,241	10,589	8,823	3,874	1,061	–	–	–	–
資産
半導体製造装置	百万円	374,513	494,964	506,929	538,532	626,957	949,714	1,176,300	–	–	–	–
FPD製造装置	百万円	27,494	43,963	35,722	42,215	29,405	25,019	23,418	–	–	–	–
その他	百万円	2,646	3,014	2,474	2,864	3,276	3,895	4,259	–	–	–	–
調整額	百万円	552,792	666,762	712,501	694,882	765,725	915,828	1,107,615	–	–	–	–
設備投資
半導体製造装置	百万円	10,881	16,392	22,633	21,082	23,485	25,331	33,390	–	–	–	–
FPD製造装置	百万円	562	935	1,507	4,035	1,256	1,592	1,392	–	–	–	–
その他	百万円	472	247	198	284	107	20	24	–	–	–	–
調整額	百万円	10,347	33,722	29,082	33,312	39,913	39,936	51,772	–	–	–	–
減価償却費
半導体製造装置	百万円	8,694	11,402	14,003	16,072	17,919	19,149	22,066	–	–	–	–
FPD製造装置	百万円	418	701	873	1,242	1,492	1,258	1,461	–	–	–	–
その他	百万円	89	81	126	194	199	148	114	–	–	–	–
調整額	百万円	8,670	8,434	9,321	11,598	14,231	16,170	19,285	–	–	–	–
減損損失
半導体製造装置	百万円	362	925	–	–	–	–	–	–	–	–	–
従業員数
半導体製造装置	人	–	–	9,927	10,887	11,396	12,487	13,847	–	–	–	–
FPD製造装置	人	–	–	623	677	677	634	581	–	–	–	–
セグメント利益率
半導体製造装置	%	24.4	29.8	28.0	25.5	27.6	34.3	32.3	24.9	28.7	–	–
FPD製造装置	%	9.4	17.7	21.8	16.0	10.5	6.5	2.0	–	–	–	–
セグメントROA
半導体製造装置	%	52.5	72.4	65.2	51.7	62.2	84.7	65.5	–	–	–	–
FPD製造装置	%	17.5	37.2	60.8	27.2	24.6	14.2	4.4	–	–	–	–
出所
資料		有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書
形式		XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL
書類番号		S100AFA1	S100D6W6	S100FZBW	S100IVX0	S100LJ5R	S100OA3X	S100QYR0	S100TM39	S100VX9R	S100YEOO