歴代社長 — 任期および後継の系譜：23カ年の傾向 代表取締役社長・CEO の在任期間と承継の構造
- FY02以降の社長は佐藤潔(FY02〜FY07)・東哲郎(FY12〜FY14会長兼社長)・竹中博司(FY09〜FY11)・河合利樹(FY15〜FY24)の系譜で、いずれも東京エレクトロン生え抜き。社外からの社長登用は確認できず、生え抜き継承が一貫した慣行として続いている。
- 在任期間は佐藤が約6年、竹中が約3年、河合が現職で10年目と長期化する流れ。FY12〜FY14は東哲郎が会長兼社長を務める異例の体制であった。
- 河合利樹はFY09〜FY18取締役・専務執行役員を経てFY15に社長昇格しており、半導体製造装置の事業執行ラインからの昇格系譜。
取締役一覧 — 独立性および専門領域：7カ年の傾向 社長・代表取締役を含む取締役の構成バランスと社外独立性
- 取締役は河合利樹CEO・佐々木貞夫(代表取締役副社長コーポレートオフィサー)・布川好一(取締役会議長)等の生え抜き執行役員と、江田麻季子(元インテル日本法人社長)・市川佐知子(法務)・ジョセフ・クラフト(金融)・鈴木ゆかり(IT)・チャールズ・ディトマース・レイク二世(アフラック)等を中心とする社外取締役で構成される布陣。
- 女性取締役は江田麻季子(FY18〜)、市川佐知子(FY20〜)、鈴木ゆかり(FY23〜)が選任されており、IT・法務・他業界経営の経歴で確保されている。外国人取締役はジョセフ・クラフト(FY23〜)、チャールズ・ディトマース・レイク二世(FY18〜FY20)等が在任。
- 専門領域は半導体製造装置の事業執行系を中心に、コーポレートオフィサー・取締役会議長等のガバナンス職を生え抜きで配置し、社外はIT産業経営・法務・金融・国際企業がガバナンスを補完する配置。
現在の取締役（役員）の詳細・株主総会における選任賛成比率 最新の有価証券報告書の提出時点（2025年6月） · 在任期間と役職の変遷（2018年度以降）
| 役員名 | 区分 | 初入社 | 専門領域 | 選任賛成 | 取締役在任中の役職変遷 |
|---|---|---|---|---|---|
| 河合利樹 | 代表取締役 | 東京エレクトロン1986-04 | 東京エレクトロンプロパー | — |
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| 佐々木貞夫 | 代表取締役 | 東京エレクトロン1985-04 | 東京エレクトロンプロパー | — |
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| 佐々木道夫 | 取締役 | リード電機(現 キーエンス)1982-03 | キーエンス出身・電機系 | — |
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| 布川好一 | 取締役 | 東京エレクトロン1982-04 | 東京エレクトロンプロパー | — |
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| 市川佐知子 | 取締役 | 弁護士登録 田辺総合法律事務所1997-04 | 弁護士・企業法務系 | — |
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| ジョセフクラフト | 取締役 | — | — | — |
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| 鈴木ゆかり | 取締役 | 資生堂1985-04 | 資生堂出身・マーケ系 | — |
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※「選任賛成」は直近の株主総会における取締役選任議案の賛成比率（出典: EDINET 臨時報告書）。
過去の取締役（役員）の詳細 退任した取締役 · 在任期間と役職の変遷（2018年度以降）
| 役員名 | 区分 | 初入社 | 専門領域 | 取締役在任中の役職変遷 |
|---|---|---|---|---|
| 江田麻季子 | 取締役 | インテル2000-09 | インテル出身・半導体系 |
|
| チャールズディトマースレイク二世 | 取締役 | — | — |
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| 三田野好伸 | 取締役 | 東京エレクトロン1985-04 | 東京エレクトロンプロパー |
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| 春原清 | 取締役 | 東京エレクトロン1981-04 | 東京エレクトロンプロパー |
|
| 常石哲男 | 取締役 | 東京エレクトロン1976-04 | 東京エレクトロンプロパー |
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| 池田世崇 | 取締役 | 東京エレクトロン1985-04 | 東京エレクトロンプロパー |
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| 長久保達也 | 取締役 | 東京エレクトロン1986-04 | 東京エレクトロンプロパー |
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| 東哲郎 | 代表取締役 | — | — |
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| 竹中博司 | 代表取締役 | — | — |
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| 佐藤潔 | 取締役 | — | — |
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