取締役の役職変遷
代表取締役社内取締役社外取締役FY19
FY20
FY21
FY22
FY23
FY24
FY25
藤代祥之
中村秀春
早﨑克志
崎谷文雄
羽森寛
森下秀法
青砥なほみ
現在の取締役（2026年5月時点） 7名
現在の取締役7名（2026年5月株主総会議決）
| 役員名 | 役職 | 株主総会での選任賛成比率 | 初入社 | 専門領域 |
|---|---|---|---|---|
| 藤代祥之 | 役職：代表取締役社長 | 株主総会での選任賛成比率91.11% | 出自：ローツェ入社2006-09 | 専門：ローツェ生え抜き・ソフト技術出身 |
| 羽森寛 | 役職：取締役 | 株主総会での選任賛成比率95.23% | 出自：オー・エイチ・ティー株式会社入社1999-10 | 専門：半導体検査装置の研究開発出身 |
| 崎谷文雄 | 役職：取締役相談役 | 株主総会での選任賛成比率95.76% | 出自：ローツェ設立 代表取締役社長就任1985-03 | 専門：ローツェ創業者・経営一筋 |
| 早﨑克志 | 役職：取締役 | 株主総会での選任賛成比率95.76% | 出自：ローツェ入社1998-06 | 専門：海外営業出身・グローバル展開担当 |
| 中村秀春 | 役職：取締役 | 株主総会での選任賛成比率95.76% | 出自：ローツェ入社1989-09 | 専門：ベトナム製造拠点・現地経営担当 |
| 森下秀法 | 役職：取締役 | 株主総会での選任賛成比率94.33% | 出自：株式会社アドテック(現 株式会社アドテック プラズマ テクノロジー)入社1999-02 | 専門：プラズマ装置メーカー出身・経営 |
| 青砥なほみ | 役職：取締役 | 株主総会での選任賛成比率95.89% | 出自：日本電気株式会社入社1983-04 | 専門：DRAM開発・半導体技術系 |
※「株主総会での選任賛成比率」は直近の株主総会における取締役選任議案の賛成比率。議決権のある票数に対する 賛成票の割合（出典: EDINET 臨時報告書）。
取締役会の構成の推移 2021/12〜2026/5
社外取締役の構成（2021年12月〜2026年5月）
社内（名）社外（名）社外比率（%）
※ コーポレート・ガバナンスに関する報告書 8 通（2021年12月〜2026年5月提出）による
取締役会の機関設計（2021年12月〜2026年5月）
| 時点 | 機関設計 | 社内 | 社外 | 独立 | 合計 | 議長 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2021/12/24 | 監査役設置会社 | 5名 | 2名 | 2名 | 7名 | 社長 |
| 2022/05/20 | 監査役設置会社 | 4名 | 2名 | 2名 | 6名 | 社長 |
| 2022/07/07 | 監査役設置会社 | 4名 | 2名 | 2名 | 6名 | 社長 |
| 2023/05/19 | 監査役設置会社 | 4名 | 2名 | 2名 | 6名 | 社長 |
| 2023/05/31 | 監査役設置会社 | 4名 | 2名 | 2名 | 6名 | 社長 |
| 2024/05/10 | 監査役設置会社 | 4名 | 3名 | 3名 | 7名 | 社長 |
| 2025/05/26 | 監査役設置会社 | 4名 | 3名 | 3名 | 7名 | 社長 |
| 2026/05/22 | 監査役設置会社 | 4名 | 3名 | 3名 | 7名 | 社長 |
退任した取締役一覧 2名 / 2019年度以降
退任した取締役一覧（2019年度以降）
| 役員名 | 役職 | 初入社 | 専門領域 |
|---|---|---|---|
| 岩瀬好啓 | 役職：取締役管理部長 | 出自：ローツェ入社1998-04 | 専門：経理出身・管理部門担当 |
| 藤井修逸 | 役職：取締役 | 出自：株式会社アドテック（現 株式会社アドテック プラズマ テクノロジー）設立 代表取締役社長就任1985-01 | 専門：プラズマ技術系・創業経営者 |