1986年3月、東京エレクトロン株式会社(TEL、当時は半導体製造装置メーカーとして急成長中)の子会社で機器のリースを主要業務としていた株式会社テル・データ・システムが、資本金5百万円をもって東京都新宿区に「テル管理サービス株式会社」を設立した。これが現在の東京エレクトロンデバイスの前身である。設立当初の業務は建物および建物付属設備の保守管理という、いわゆるビルメンテナンス業務であり、TELグループ内の管理機能を担う子会社という位置付けだった。1980年代のTELは半導体製造装置メーカーとして急成長期にあり、グループ各社の機能分担を進めるなかで、保守管理機能を独立子会社として切り出した格好である。

1990年9月、社名を「東京エレクトロン デバイス株式会社」に変更し、同時に従来の建物保守管理業務を東京エレクトロングループ他社へ移管、新たに外国製半導体を中心とする電子部品の販売事業を開始した。設立から4年で全業態を入れ替える根本的な事業転換である。同年10月、本社を東京都新宿区から神奈川県横浜市緑区(現都筑区)に移転し、半導体技術商社としてのオペレーション体制を整えた。1991年1月、東京エレクトロン株式会社が株式会社テル・データ・システムから当社株式をすべて取得し、株主関係も親会社TELへ直接接続される構造となった。

1996年10月、東京エレクトロン株式会社から電子部品部門の富士通社製品販売事業を譲受けた。続いて1997年10月にモトローラ社製品販売事業、1998年7月にはTELから電子部品部門に関する事業を全て譲受け、東京エレクトロンデバイスがTELグループ内の電子部品販売の専業会社として位置付けが完全に固定された。同時に、TELから岩手県江刺市・東京都府中市・山梨県韮崎市の設計開発センターを業務移管され、単純な商社機能だけでなく、製品開発・設計支援機能も担う技術商社へと進化した。

1990年代の日本半導体産業は、80年代の「日本半導体メーカー世界トップシェア」時代から、米国Intel・米国Texas Instruments・韓国サムスン電子などの台頭による国際競争激化期に入っていた。TEL本体は半導体製造装置メーカーとして装置販売に集中する戦略を取り、電子部品(半導体製品)販売事業は子会社の東京エレクトロンデバイスに集約させる選択をした。米国Motorola・米国Texas Instruments・米国Xilinxなど外国半導体メーカーの日本市場向け販売を主力業務として、東京エレクトロンデバイスは半導体技術商社として独自のポジションを獲得していった。