取締役の役職変遷
代表取締役社内取締役社外取締役FY19
FY20
FY21
FY22
FY23
FY24
FY25
徳重敦之
宮本隆義
長谷川雅巳
常石哲男
鬼塚ひろみ
西田啓
逢坂清治
浜辺真紀子
現在の取締役（2026年6月時点） 8名
現在の取締役8名（2026年6月株主総会議決）
| 役員名 | 役職 | 株主総会での選任賛成比率 | 初入社 | 専門領域 |
|---|---|---|---|---|
| 徳重敦之 | 役職：代表取締役会長CEO(最高経営責任者)コーポレートオフィサー執行役員 | 株主総会での選任賛成比率99.01% | 出自：東京エレクトロン㈱入社1986-04 | 専門：東京エレクトロン出身・半導体装置系 |
| 宮本隆義 | 役職：代表取締役社長コーポレートオフィサー執行役員内部統制担当 | 株主総会での選任賛成比率99.10% | 出自：東京エレクトロン㈱入社1993-04 | 専門：東京エレクトロン出身・営業系 |
| 常石哲男 | 役職：取締役 | 株主総会での選任賛成比率98.99% | 出自：東京エレクトロン㈱入社1976-04 | 専門：東京エレクトロン出身・半導体装置系 |
| 長谷川雅巳 | 役職：取締役コーポレートオフィサー執行役員副社長コーポレート営業統括ECBU/BUGM | 株主総会での選任賛成比率99.18% | 出自：東京エレクトロン㈱入社1986-04 | 専門：東京エレクトロン出身・営業系 |
| 鬼塚ひろみ | 役職：取締役 | 株主総会での選任賛成比率99.06% | 出自：東京芝浦電気㈱（現 ㈱東芝）入社1976-04 | 専門：東芝出身・電機系 |
| 西田啓 | 役職：取締役 | 株主総会での選任賛成比率99.17% | 出自：日本電池㈱（現 ㈱GSユアサ）入社1977-04 | 専門：GSユアサ出身・電池系 |
| 逢坂清治 | 役職：取締役 | 株主総会での選任賛成比率99.26% | 出自：東京電気化学工業㈱（現 TDK㈱）入社1982-04 | 専門：TDK出身・電子部品系 |
| 浜辺真紀子 | 役職：新任（役職は次の有価証券報告書で確定） | 株主総会での選任賛成比率99.33% | 出自：— | 専門：— |
※「株主総会での選任賛成比率」は直近の株主総会における取締役選任議案の賛成比率。議決権のある票数に対する 賛成票の割合（出典: EDINET 臨時報告書）。
取締役会の構成の推移 2021/11〜2026/5
社外取締役の構成（2021年11月〜2026年5月）
社内（名）社外（名）社外比率（%）
※ コーポレート・ガバナンスに関する報告書 10 通（2021年11月〜2026年5月提出）による
取締役会の機関設計（2021年11月〜2026年5月）
| 時点 | 機関設計 | 社内 | 社外 | 独立 | 合計 | 議長 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2021/11/11 | 監査役設置会社 | 6名 | 3名 | 3名 | 9名 | 社長 |
| 2022/06/10 | 監査役設置会社 | 6名 | 3名 | 3名 | 9名 | 社長 |
| 2023/03/17 | 監査役設置会社 | 6名 | 3名 | 3名 | 9名 | 社長 |
| 2023/06/08 | 監査役設置会社 | 5名 | 3名 | 3名 | 8名 | 社長 |
| 2023/07/24 | 監査役設置会社 | 5名 | 3名 | 3名 | 8名 | 社長 |
| 2024/06/06 | 監査役設置会社 | 4名 | 3名 | 3名 | 7名 | 社長 |
| 2024/10/07 | 監査役設置会社 | 4名 | 3名 | 3名 | 7名 | 社長 |
| 2025/06/02 | 監査役設置会社 | 4名 | 3名 | 3名 | 7名 | 社長 |
| 2026/03/26 | 監査役設置会社 | 4名 | 3名 | 3名 | 7名 | 会長 |
| 2026/05/15 | 監査役設置会社 | 4名 | 4名 | 4名 | 8名 | 会長 |
退任した取締役一覧 6名 / 2018年度以降
退任した取締役一覧（2018年度以降）
| 役員名 | 役職 | 初入社 | 専門領域 |
|---|---|---|---|
| 佐伯幸雄 | 役職：取締役コーポレートオフィサーコーポレート管理統括本部長 | 出自：東京エレクトロン㈱入社1981-04 | 専門：東京エレクトロン出身・管理統括系 |
| 篠田一樹 | 役職：取締役PBBU/BUGM | 出自：東京エレクトロン㈱入社1988-04 | 専門：東京エレクトロン出身・半導体装置系 |
| 川名浩一 | 役職：取締役 | 出自：日揮㈱（現 日揮ホールディングス㈱） 入社1982-04 | 専門：日揮出身・プラント系 |
| 上小川昭浩 | 役職：取締役CNBU/BUGM | 出自：東京エレクトロン㈱入社1986-04 | 専門：東京エレクトロン出身・半導体装置系 |
| 石川國雄 | 役職：取締役 | 出自：日本電信電話公社（現 日本電信電話㈱）入社1971-04 | 専門：NTT出身・通信系 |
| 久我宣之 | 役職：取締役会長 | 出自：東京エレクトロン㈱入社1979-04 | 専門：東京エレクトロン出身・半導体装置系 |