歴代社長 — 任期および後継の系譜：25カ年の傾向 代表取締役社長・CEO の在任期間と承継の構造
- FY00以降の社長は溝呂木斉・関家一馬の2名、関家一馬はディスコ入社の生え抜き創業家系（関家英之の系譜）からの昇格。
- 溝呂木斉はFY00〜FY07（約8年）、関家一馬はFY08〜FY24（17年継続中）と、関家家による長期在任が定着。
- 関家一馬はCEO・COO・技術開発本部長を兼務しており、技術系出身の生え抜き創業家系がCEOを担う系譜。外部からの社長登用は確認できない。
取締役一覧 — 独立性および専門領域：7カ年の傾向 社長・代表取締役を含む取締役の構成バランスと社外独立性
- 生え抜き役員（関家一馬・吉永晃・関家英之・田村隆夫）に加え、社外取締役として慶應義塾大学・名古屋大学（稲﨑一郎）、大阪大学（田村進一）、東京大学（小林英津子）、JPモルガン系（隠樹紀子）、リクルート系（松尾亜紀子）、三井住友信託銀行（茂木美樹）、三和銀行系（村上敦士・髙栁忠雄・山口裕正）、日立製作所（巳亦力）など学術・金融系が並存する構成。
- 女性取締役は隠樹紀子（FY21〜）、松尾亜紀子（FY22〜）、小林英津子（FY23〜）、茂木美樹（FY23〜）、ChristinaL.Ahmadjian（FY24〜）と段階的に増員されており、金融・学術・他業界経営者からの選任が中心。外国人取締役はChristinaL.Ahmadjianが米国出身として在籍。
- 専門領域は半導体製造装置の技術開発系（関家一馬・吉永晃）、財務管理系（田村隆夫）に配分され、社外取締役は理工系学術（稲﨑一郎・田村進一・小林英津子）・金融・コンプライアンスでガバナンスを補完する配置となっている。
現在の取締役（役員）の詳細・株主総会における選任賛成比率 最新の有価証券報告書の提出時点（2025年6月） · 在任期間と役職の変遷（2018年度以降）
| 役員名 | 区分 | 初入社 | 専門領域 | 選任賛成 | 取締役在任中の役職変遷 |
|---|---|---|---|---|---|
| 吉永晃 | 取締役 | ディスコ1982-04 | ディスコプロパー出身 | 2025/6議決99.26% |
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| 田村隆夫 | 取締役 | ディスコ1977-04 | ディスコプロパー出身 | 2025/6議決99.15% |
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| 隠樹紀子 | 取締役 | チェース・マンハッタン銀行（現ＪＰモルガン・チェース銀行）1982-04 | 外資銀行出身・金融系 | 2025/6議決99.22% |
|
| 時丸和好 | 取締役 | 住友信託銀行（現三井住友信託銀行）1982-04 | 住友信託出身・信託銀行系 | 2025/6議決99.21% |
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| 松尾亜紀子 | 取締役 | リクルート1989-04 | リクルート出身・人材系 | 2025/6議決99.08% |
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| 小林英津子 | 取締役 | — | — | 2025/6議決98.95% |
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| ChristinaL.Ahmadjian | 取締役 | — | — | 2025/6議決99.26% |
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| 村上敦士 | 取締役 | 三和銀行（現三菱ＵＦＪ銀行）1984-04 | 旧三和銀行出身・銀行系 | 2025/6議決99.26% |
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| 関家一馬 | 役員 | ディスコ1989-07 | ディスコ創業家・プロパー | 2025/6議決95.53% |
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※「選任賛成」は直近の株主総会における取締役選任議案の賛成比率（出典: EDINET 臨時報告書）。
過去の取締役（役員）の詳細 退任した取締役 · 在任期間と役職の変遷（2018年度以降）
| 役員名 | 区分 | 初入社 | 専門領域 | 取締役在任中の役職変遷 |
|---|---|---|---|---|
| 稲﨑一郎 | 取締役 | — | — |
|
| 田村進一 | 取締役 | — | — |
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| 山口裕正 | 取締役 | 三和銀行（現三菱ＵＦＪ銀行）1971-04 | 旧三和銀行出身・銀行系 |
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| 茂木美樹 | 取締役 | 住友信託銀行（現三井住友信託銀行）1988-04 | 住友信託出身・信託銀行系 |
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| 巳亦力 | 取締役 | 日立製作所1963-04 | 日立製作所出身・電機系 |
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| 髙栁忠雄 | 取締役 | 三和銀行（現三菱ＵＦＪ銀行）1974-04 | 旧三和銀行出身・銀行系 |
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| 関家英之 | 取締役 | 第一製砥所（現ディスコ）1974-04 | ディスコ前身入社・創業家 |
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| 溝呂木斉 | 代表取締役 | — | — |
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