取締役の役職変遷
代表取締役社内取締役社外取締役FY19
FY20
FY21
FY22
FY23
FY24
FY25
吉田均
木村龍一
伯耆田貴浩
秋本伸治
ロミプラダン
相良由里子
高増潔
森重哉
川﨑素子
髙山清子
現在の取締役（2026年6月時点） 10名
現在の取締役10名（2026年6月株主総会議決）
| 役員名 | 役職 | 株主総会での選任賛成比率 | 初入社 | 専門領域 |
|---|---|---|---|---|
| 吉田均 | 役職：代表取締役会長 | 株主総会での選任賛成比率99.00% | 出自：東京精密入社1983-04 | 専門：計測機器・技術系生え抜き |
| 木村龍一 | 役職：代表取締役社長CEO | 株主総会での選任賛成比率98.90% | 出自：東京精密入社1986-04 | 専門：半導体事業・技術系生え抜き |
| 秋本伸治 | 役職：取締役(監査等委員) | 株主総会での選任賛成比率94.90%2025/6議決（任期2年） | 出自：東京精密入社1987-04 | 専門：人事部門育ち・監査担当 |
| 相良由里子 | 役職：取締役(監査等委員) | 株主総会での選任賛成比率99.70%2025/6議決（任期2年） | 出自：弁護士登録 中村合同特許法律事務所入所2001-10 | 専門：弁護士・弁理士／知財法務専門 |
| 伯耆田貴浩 | 役職：取締役半導体社執行役員カンパニー長兼業務会社情報システム室長兼事業戦略室長 | 株主総会での選任賛成比率99.10% | 出自：㈱ワイ・デー・ケー入社1986-07 | 専門：半導体テスト技術系・カンパニー長 |
| 高増潔 | 役職：取締役(非常勤) | 株主総会での選任賛成比率99.70% | 出自：東京大学工学部精密機械工学科助手1982-04 | 専門：精密工学研究・東大名誉教授 |
| ロミプラダン | 役職：取締役(非常勤) | 株主総会での選任賛成比率99.10% | 出自：米国California Energy Commission入社1991-01 | 専門：米国半導体営業・外資出身 |
| 森重哉 | 役職：取締役(非常勤) | 株主総会での選任賛成比率99.70% | 出自：㈱東芝 大分工場 工場長2014-04 | 専門：半導体製造出身・技術系 |
| 川﨑素子 | 役職：取締役(監査等委員) | 株主総会での選任賛成比率96.70% | 出自：富士フイルムホールディングス㈱経営企画部CSRグループ長 富士フイルム㈱CSR推進部長2016-06 | 専門：CSR・ESG推進／監査役 |
| 髙山清子 | 役職：取締役(監査等委員) | 株主総会での選任賛成比率99.80%2025/6議決（任期2年） | 出自：— | 専門：— |
※「株主総会での選任賛成比率」は直近の株主総会における取締役選任議案の賛成比率。議決権のある票数に対する 賛成票の割合（出典: EDINET 臨時報告書）。
取締役会の構成の推移 2021/12〜2026/6
社外取締役の構成（2021年12月〜2026年6月）
社内（名）社外（名）社外比率（%）
※ コーポレート・ガバナンスに関する報告書 8 通（2021年12月〜2026年6月提出）による
取締役会の機関設計（2021年12月〜2026年6月）
| 時点 | 機関設計 | 社内 | 社外 | 独立 | 合計 | 議長 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2021/12/07 | 監査等委員会設置会社 | 8名 | 5名 | 5名 | 13名 | 社長 |
| 2022/03/24 | 監査等委員会設置会社 | 8名 | 5名 | 5名 | 13名 | 社長 |
| 2022/06/16 | 監査等委員会設置会社 | 8名 | 5名 | 5名 | 13名 | 会長 |
| 2023/04/20 | 監査等委員会設置会社 | 7名 | 5名 | 5名 | 12名 | 会長 |
| 2024/03/26 | 監査等委員会設置会社 | 7名 | 5名 | 5名 | 12名 | 会長 |
| 2024/06/18 | 監査等委員会設置会社 | 7名 | 5名 | 5名 | 12名 | 会長 |
| 2025/06/23 | 監査等委員会設置会社 | 5名 | 5名 | 5名 | 10名 | 会長 |
| 2026/06/22 | 監査等委員会設置会社 | 5名 | 5名 | 5名 | 10名 | 会長 |
退任した取締役一覧 11名 / 2018年度以降
退任した取締役一覧（2018年度以降）
| 役員名 | 役職 | 初入社 | 専門領域 |
|---|---|---|---|
| 川村浩一 | 役職：代表取締役副社長CFO | 出自：㈱富士銀行(現、㈱みずほ銀行)入行1980-04 | 専門：富士銀行出身・財務担当 |
| 須永真樹 | 役職：取締役(監査等委員) | 出自：青山監査法人入所1985-10 | 専門：公認会計士・税理士 |
| 塚田修一 | 役職：取締役 | 出自：東京精密入社1983-04 | 専門：計測事業育ち・生え抜き役員 |
| 村田恒子 | 役職：取締役(監査等委員) | 出自：松下電器産業㈱(現、パナソニック㈱)入社1982-04 | 専門：法務・コンプライアンス専門 |
| ウォルフガングボナッツ | 役職：取締役(非常勤) | 出自：TOKYO SEIMITSU EUROPE GmbH (現、子会社ACCRETECH(EUROPE)GmbH) 入社1992-10 | 専門：欧州子会社経営・現地法人育ち |
| 遠藤章宏 | 役職：取締役半導体社執行役員専務 | 出自：沖電気工業㈱入社1981-04 | 専門：沖電気出身・半導体技術系 |
| 齋藤昇三 | 役職：取締役(非常勤) | 出自：㈱東芝 執行役上席常務2007-06 | 専門：東芝出身・経営執行系 |
| 林芳郎 | 役職：取締役(監査等委員) | 出自：トヨタ自動車㈱常勤監査役2003-06 | 専門：トヨタ系・電池事業出身 |
| 井上直美 | 役職：取締役(非常勤) | 出自：㈱富士銀行(現、㈱みずほ銀行)入行1974-04 | 専門：みずほ銀行出身・金融系 |
| 友枝雅洋 | 役職：取締役計測社カンパニー長 | 出自：東京精密入社1986-04 | 専門：計測事業・営業出身 |
| 松本弘一 | 役職：取締役(監査等委員) | 出自：工業技術院計量研究所研究員1976-04 | 専門：計量標準・精密計測の研究者出身 |