歴代社長 — 任期および後継の系譜：23カ年の傾向代表取締役社長・CEO の在任期間と承継の構造

• FY02以降の社長は鈴木貞勝・藤森一雄・太田邦正・吉田均・木村龍一の5名で、いずれも東京精密入社からの生え抜き昇格。外部出身の代表取締役社長は確認できない。
• 吉田均はFY14〜FY20（約7年）社長CEOを務めFY21以降は代表取締役会長CEOを継続、木村龍一がFY21に代表取締役社長COOへ昇格して以来現在まで在任しており、会長CEO＋社長COOの二頭体制が定着している。
• 昇格元は計測社カンパニー長（吉田均）と半導体社カンパニー長（木村龍一）が直近2代続き、東京精密の2大事業（精密測定機器・半導体製造装置）のカンパニー長からのCEO登用パターンが定着している。

取締役一覧 — 独立性および専門領域：7カ年の傾向社長・代表取締役を含む取締役の構成バランスと社外独立性

• 生え抜き役員（吉田均・木村龍一・友枝雅洋・伯耆田貴浩・塚田修一・秋本伸治）に加え、CFO川村浩一は富士銀行（現みずほ銀行）出身、半導体社専務の遠藤章宏は沖電気工業出身で、技術系生え抜き＋金融・電機系の異業種登用が併存する構成となっている。
• 社外取締役として東芝（齋藤昇三・森重哉）、トヨタ自動車（林芳郎）、富士フイルム（川﨑素子）、パナソニック（村田恒子）といった国内大手電機・自動車・化学系の経営経験者に加え、東京大学精密機械工学科の高増潔名誉教授、計量研究所出身の松本弘一を擁し、精密計測の学術領域からのガバナンスが効いた配置となっている。
• 海外関係では欧州子会社育ちのウォルフガングボナッツ（ACCRETECH EUROPE代表）、米国半導体営業のロミプラダンを取締役として迎え入れ、欧州・米州市場での現地経営の声を取締役会に直接取り込む構造を採用している。女性取締役は井上直美・村田恒子・川﨑素子・相良由里子・川﨑素子の5名が選任されており、監査等委員には弁護士・公認会計士の専門職を配置している。

現在の取締役（役員）の詳細現取締役 · 在任期間と役職の変遷（2018年度以降）

過去の取締役（役員）の詳細退任した取締役 · 在任期間と役職の変遷（2018年度以降）