科目	単位	2017/3	2018/3	2019/3	2020/3	2021/3	2022/3	2023/3	2024/3	2025/3	2026/3	直近YoY
連結区分		連結	連結	連結	連結	連結	連結	連結	連結	連結	連結
会計基準		日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準	日本基準
損益計算書
売上高	百万円	77,792	88,194	101,520	87,927	97,105	130,702	146,801	134,680	150,534	166,839	10.8%
売上原価	百万円	48,152	53,818	60,430	53,452	60,190	77,694	84,967	79,917	88,081	97,978	11.2%
売上総利益	百万円	29,640	34,375	41,090	34,474	36,914	53,008	61,834	54,762	62,453	68,860	10.3%
販売費及び一般管理費	百万円	15,981	17,092	20,869	22,192	21,351	24,681	27,339	29,454	32,750	35,122	7.2%
人件費	百万円	200	220	226	259	265	376	1,696	1,620	1,672	2,545	52.2%
営業利益	百万円	13,659	17,283	20,221	12,282	15,562	28,327	34,494	25,307	29,703	33,738	13.6%
営業外収益	百万円	318	170	688	255	540	987	965	1,404	921	1,481	60.8%
営業外費用	百万円	112	138	104	177	235	153	162	259	684	394	▲42.4%
経常利益	百万円	13,864	17,316	20,805	12,360	15,867	29,160	35,297	26,453	29,939	34,825	16.3%
特別利益	百万円	583	4	58	57	1,354	390	103	824	4,493	194	▲95.7%
投資有価証券売却益	百万円	527	3	55	55	133	25	25	23	179	191	6.7%
固定資産売却益	百万円	–	–	–	–	–	–	–	–	4,303	–	–
特別損失	百万円	32	2	419	1,712	1,074	34	2,099	21	158	1,833	1060.1%
投資有価証券評価損	百万円	–	–	121	–	–	–	–	–	–	–	–
減損損失	百万円	–	–	–	1,652	668	31	184	–	–	–	–
税引前利益	百万円	14,415	17,318	20,443	10,705	16,147	29,746	33,301	27,255	34,275	33,186	▲3.2%
法人税等合計	百万円	4,464	4,542	5,719	3,598	3,978	8,247	9,607	7,791	8,531	8,354	▲2.1%
法人税等	百万円	5,678	5,115	5,999	3,654	4,806	8,239	10,046	7,319	9,329	8,945	▲4.1%
法人税等調整額	百万円	▲1,213	▲572	▲279	▲55	▲828	7	▲438	471	▲798	▲590	–
当期純利益	百万円	9,951	12,775	14,724	7,106	12,169	21,499	23,693	19,463	25,744	24,831	▲3.5%
非支配株主に帰属する当期純利益	百万円	41	58	58	▲49	▲6	57	62	84	106	92	▲13.2%
親会社株主に帰属する当期純利益	百万円	9,909	12,717	14,665	7,156	12,175	21,326	23,630	19,378	25,637	24,739	▲3.5%
包括利益	百万円	10,371	15,124	12,240	6,384	13,018	22,316	24,745	21,152	26,486	26,749	1.0%
貸借対照表
総資産額	百万円	114,463	132,893	157,573	146,549	161,556	190,287	209,032	225,524	237,952	250,533	5.3%
流動資産	百万円	82,792	96,349	110,094	97,771	111,516	133,785	143,972	153,831	169,341	174,607	3.1%
現金及び預金	百万円	33,853	37,220	41,518	34,640	43,657	49,033	40,080	36,782	54,541	53,073	▲2.7%
現金及び現金同等物	百万円	33,825	37,090	41,290	34,605	43,624	49,006	40,036	36,736	54,516	53,052	▲2.7%
売上債権	百万円	23,675	28,005	29,230	24,279	27,304	32,204	36,401	35,497	33,122	42,524	28.4%
棚卸資産	百万円	17,312	22,324	29,994	30,151	32,885	40,281	53,480	67,224	69,512	68,021	▲2.1%
商品	百万円	2,101	1,918	1,830	2,344	2,657	2,813	2,462	2,254	2,856	3,416	19.6%
仕掛品	百万円	11,325	15,223	19,999	20,120	22,028	26,221	32,862	38,682	40,053	40,373	0.8%
原材料	百万円	3,886	5,183	8,165	7,687	8,200	11,247	18,156	26,288	26,603	24,232	▲8.9%
固定資産	百万円	31,670	36,645	47,478	48,777	50,039	56,403	65,060	71,693	68,610	75,925	10.7%
有形固定資産	百万円	24,448	24,258	33,147	34,589	36,645	43,476	48,954	55,997	53,975	59,946	11.1%
投資有価証券	百万円	2,778	5,684	4,361	3,279	3,163	2,947	2,914	3,645	3,246	4,307	32.7%
無形固定資産・無形資産	百万円	929	1,857	3,773	4,546	3,989	3,670	3,951	4,069	3,729	3,189	▲14.5%
のれん	百万円	284	185	82	263	220	210	279	255	224	183	▲18.3%
負債合計	百万円	27,269	33,640	50,169	36,874	44,778	59,202	63,004	67,097	61,723	57,617	▲6.7%
流動負債	百万円	26,570	32,807	40,948	29,017	39,296	55,641	50,947	46,002	46,933	47,879	2.0%
仕入債務	百万円	7,497	8,200	9,350	7,500	9,379	11,213	10,164	8,517	8,301	9,085	9.4%
固定負債	百万円	698	833	9,220	7,857	5,482	3,561	12,057	21,094	14,789	9,737	▲34.2%
有利子負債合計	百万円	1,300	1,300	9,300	7,300	5,300	3,300	9,300	19,300	14,300	9,300	▲35.0%
有利子負債（流動）	百万円	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	0.0%
有利子負債（非流動）	百万円	–	–	8,000	6,000	4,000	2,000	8,000	18,000	13,000	8,000	▲38.5%
短期借入金	百万円	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	1,300	0.0%
長期借入金	百万円	–	–	8,000	6,000	4,000	2,000	8,000	18,000	13,000	8,000	▲38.5%
純資産	百万円	87,194	99,354	107,403	109,674	116,777	130,986	146,028	158,427	176,229	192,916	9.5%
株主資本	百万円	84,491	94,128	104,280	107,334	113,487	126,762	140,150	150,765	167,850	182,816	8.9%
資本金	百万円	10,462	10,561	10,591	10,703	10,818	11,000	11,064	11,450	11,573	11,748	1.5%
資本剰余金	百万円	21,480	21,579	21,608	21,721	21,918	22,115	22,179	22,593	23,161	23,336	0.8%
利益剰余金	百万円	52,665	62,105	72,200	75,032	83,874	99,237	114,005	124,705	141,546	156,094	10.3%
自己株式	百万円	▲116	▲118	▲120	▲122	▲3,124	▲5,590	▲7,098	▲7,983	▲8,430	▲8,362	–
その他の包括利益累計額	百万円	1,885	4,234	1,751	1,022	1,881	2,698	4,137	5,794	6,371	8,218	29.0%
非支配株主持分	百万円	310	368	587	546	516	574	668	784	1,056	1,218	15.3%
自己資本	百万円	86,884	98,986	106,816	109,128	116,261	130,507	145,360	157,643	175,173	191,698	9.4%
リース債務・流動	百万円	8	18	32	110	114	114	278	228	327	261	▲20.2%
リース債務・固定	百万円	24	33	83	231	167	79	612	642	456	151	▲66.9%
キャッシュ・フロー計算書
営業活動によるキャッシュ・フロー	百万円	12,809	10,931	12,932	5,965	22,062	23,837	1,000	4,892	28,824	25,012	▲13.2%
減価償却費	百万円	2,380	2,541	2,655	3,450	3,516	3,574	3,832	4,673	5,105	5,582	9.3%
のれん償却額	百万円	102	102	226	41	28	30	42	54	49	45	▲8.2%
投資活動によるキャッシュ・フロー	百万円	▲3,486	▲4,649	▲13,952	▲6,116	▲5,191	▲8,990	▲8,421	▲10,563	2,541	▲11,491	▲552.2%
設備投資（有形固定資産の取得）	百万円	▲5,118	▲1,679	▲11,205	▲4,433	▲5,864	▲9,367	▲8,054	▲9,845	▲9,574	▲10,990	–
投資有価証券の売却	百万円	1,705	63	118	357	864	224	128	57	647	364	▲43.7%
フリー・キャッシュ・フロー	百万円	9,323	6,282	▲1,020	▲151	16,871	14,847	▲7,421	▲5,671	31,365	13,521	▲56.9%
財務活動によるキャッシュ・フロー	百万円	▲2,953	▲3,163	5,443	▲6,375	▲8,282	▲10,346	▲2,174	1,616	▲13,991	▲15,674	–
配当金の支払	百万円	▲2,773	▲3,277	▲4,570	▲4,325	▲3,333	▲5,956	▲8,540	▲8,678	▲8,796	▲10,177	–
自己株式の取得	百万円	▲1	▲2	▲1	▲1	▲3,002	▲2,501	▲1,583	▲922	▲1,383	▲3	–
現金及び現金同等物の期末残高	百万円	33,825	37,090	41,290	34,605	43,624	49,006	40,036	36,736	54,516	53,052	▲2.7%
投資有価証券取得	百万円	▲2	▲1,522	▲154	▲99	▲50	▲129	▲3	▲3	▲3	▲3	–
投資
設備投資額	百万円	–	–	13,872	7,477	5,950	9,816	9,725	11,602	10,245	11,069	8.0%
研究開発費	百万円	–	–	7,469	8,234	7,193	8,146	8,542	9,042	10,354	12,037	16.3%
収益性・安全性
売上高の前年比	%	–	13.4	15.1	▲13.4	10.4	34.6	12.3	▲8.3	11.8	10.8	–
売上総利益率	%	38.1	39.0	40.5	39.2	38.0	40.6	42.1	40.7	41.5	41.3	–
営業利益率	%	17.6	19.6	19.9	14.0	16.0	21.7	23.5	18.8	19.7	20.2	–
経常利益率	%	17.8	19.6	20.5	14.1	16.3	22.3	24.0	19.6	19.9	20.9	–
当期純利益率	%	12.7	14.4	14.4	8.1	12.5	16.3	16.1	14.4	17.0	14.8	–
ROE	%	12.0	13.8	14.4	6.7	10.9	17.5	17.3	12.9	15.5	13.5	–
ROA（純利益÷総資産）	%	8.7	9.6	9.3	4.9	7.5	11.2	11.3	8.6	10.8	9.9	–
自己資本比率	%	75.9	74.5	67.8	74.5	72.0	68.6	69.5	69.9	73.6	76.5	–
D/Eレシオ	倍	0.01	0.01	0.09	0.07	0.05	0.03	0.06	0.12	0.08	0.05	–
研究開発費率	%	–	–	7.4	9.4	7.4	6.2	5.8	6.7	6.9	7.2	–
株式・市場評価
1株当たり当期純利益（EPS）	円	239.32	306.41	352.92	171.89	293.83	522.52	581.33	480.49	633.75	610.02	▲3.7%
期末株価	円	3,494.07	4,289.74	2,823.36	3,076.83	5,053.88	4,859.44	5,115.70	12,156.40	7,985.25	13,237.43	65.8%
時価総額	億円	1,450	1,783	1,174	1,283	2,110	2,035	2,144	5,118	3,367	5,597	66.2%
PER	倍	14.60	14.00	8.00	17.90	17.20	9.30	8.80	25.30	12.60	21.70	–
PBR	倍	1.68	1.81	1.11	1.18	1.80	1.52	1.43	3.14	1.85	2.81	–
発行済株式数	千株	41,496	41,576	41,598	41,695	41,760	41,870	41,903	42,104	42,170	42,283	0.3%
1株当たり配当金	円	72	92	125	76	104	185	235	192	253	262	3.6%
うち中間配当	円	34	41	59	38	42	84	109	89	114	111	▲2.6%
配当性向（単体）	%	36.4	39.7	46.8	28.9	48.3	31.3	41.8	46.0	44.5	44.0	–
従業員
従業員数（連結）	人	1,784	1,933	2,119	2,250	2,293	2,354	2,468	2,658	2,767	2,890	4.4%
従業員数（単体）	人	726	809	868	912	944	992	1,054	1,200	1,292	1,428	10.5%
臨時従業員数	人	720	820	980	980	996	1,123	1,258	1,225	1,258	1,330	5.7%
平均年間給与（単体）	千円	–	–	7,582	7,152	7,013	7,496	7,984	8,018	7,828	8,276	5.7%
平均年齢（単体）	歳	–	–	40.4	40.0	39.9	39.8	39.6	39.2	38.9	38.5	▲1.0%
平均勤続年数（単体）	年	–	–	11.6	11.2	11.2	11.1	11.1	10.2	10.1	9.5	▲5.9%
各期の取締役
吉田均		●	●	●	●	●	●	●	●	●	●
木村龍一		●	●	●	●	●	●	●	●	●	●
伯耆田貴浩				●	●	●	●	●	●	●	●
秋本伸治				●	●	●	●	●	●	●	●
相良由里子				●	●	●	●	●	●	●	●
高増潔					●	●	●	●	●	●	●
ロミプラダン								●	●	●	●
森重哉								●	●	●	●
川﨑素子									●	●	●
髙山清子											●
川村浩一		●	●	●	●	●	●	●	●	●
塚田修一						●	●	●	●	●
須永真樹						●	●	●	●	●
村田恒子							●	●
遠藤章宏				●	●	●	●
ウォルフガングボナッツ				●	●	●	●
齋藤昇三		●	●	●	●	●	●
林芳郎				●	●	●
友枝雅洋				●	●
井上直美				●	●
松本弘一		●	●	●
太田邦正		●	●
ボナッツ		●	●
唐東雷		●
取締役の報酬等の総額
取締役	百万円	349	407	441	392	372	524	561	573	686	481	▲29.9%
員数	人	9	9	8	7	7	8	7	8	6	6	0.0%
監査等委員である取締役	百万円	–	–	–	18	19	20	21	22	22	23	4.5%
員数	人	–	–	–	1	1	1	1	1	1	1	0.0%
社外役員	百万円	39	45	42	42	40	41	38	42	42	42	0.0%
員数	人	5	7	6	8	6	6	6	6	6	6	0.0%
セグメント
売上高
半導体製造装置	百万円	50,291	59,523	69,117	56,198	71,745	101,145	112,365	100,055	113,481	127,878	12.7%
計測機器	百万円	27,501	28,671	32,403	31,728	25,359	29,556	34,436	34,624	37,053	38,960	5.1%
セグメント利益
半導体製造装置	百万円	8,820	11,292	13,195	7,915	13,565	24,698	29,866	19,899	24,311	28,404	16.8%
計測機器	百万円	4,839	5,990	7,025	4,366	1,996	3,628	4,628	5,408	5,392	5,333	▲1.1%
資産
半導体製造装置	百万円	72,530	87,373	104,498	99,393	118,547	145,499	161,167	169,359	179,567	190,102	5.9%
計測機器	百万円	41,232	44,374	52,278	46,350	42,040	43,733	46,999	54,928	56,960	57,777	1.4%
調整額	百万円	699	1,144	795	805	968	1,055	865	1,236	1,424	2,652	86.2%
設備投資
半導体製造装置	百万円	3,647	2,543	12,235	3,832	3,499	9,223	7,248	8,652	6,590	7,224	9.6%
計測機器	百万円	498	1,003	1,636	3,644	2,450	569	2,476	2,949	3,655	3,844	5.2%
減価償却費
半導体製造装置	百万円	1,668	1,824	1,909	2,450	2,343	2,447	2,642	3,411	3,670	3,840	4.6%
計測機器	百万円	711	716	746	1,000	1,172	1,103	1,189	1,262	1,435	1,741	21.3%
減損損失
半導体製造装置	百万円	–	–	–	1,591	–	–	–	–	–	–	–
計測機器	百万円	–	–	–	60	668	31	184	–	–	–	–
従業員数
半導体製造装置	人	–	–	–	–	–	–	–	–	1,564	1,666	6.5%
計測機器	人	–	–	–	–	–	–	–	–	986	1,002	1.6%
セグメント利益率
半導体製造装置	%	17.5	19.0	19.1	14.1	18.9	24.4	26.6	19.9	21.4	22.2	–
計測機器	%	17.6	20.9	21.7	13.8	7.9	12.3	13.4	15.6	14.6	13.7	–
セグメントROA
半導体製造装置	%	13.2	14.1	13.8	7.8	12.4	18.7	19.5	12.0	13.9	15.4	–
計測機器	%	11.9	14.0	14.5	8.9	4.5	8.5	10.2	10.6	9.6	9.3	–
出所
資料		有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書	有価証券 報告書
形式		XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL	XBRL
書類番号		S100ANT0	S100DDYT	S100G7OM	S100J2RN	S100LLKR	S100OB0T	S100R3VK	S100TQC3	S100W0K6	S100YEOP