荏原製作所半導体向けドライ真空ポンプへの参入と、CMP装置の事業化

1980年代の荏原製作所は、売上高のほぼ7割をポンプ事業が占めていた。主力の水道用大型ポンプは国や地方自治体が主なユーザーで、創業以来、官公需は常に売上高の3割から5割を占めてきた。安定した顧客を抱えるかわりに、優れた新技術を開発しても採用までに時間がかかる。研究開発は既存技術の改良に傾き、有望な新技術を長期で育てる発想が社内から薄れていた^[1][2]。

新しい柱を探す動きのなかで、荏原は1985年に電子事業へ参入した。当時流行していたコーポレートプロジェクトの一つで、翌1986年には半導体分野で最初の製品を出している。1987年7月には藤沢工場内に精密機械工場を建て、半導体産業向け真空機器の生産を始めた。液体を送るポンプと、気体を引く真空機器。半導体は流体を扱う精密加工という一点でしか祖業とつながらない、遠い畑であった^[3][4]。

真空ポンプで信頼を得た荏原に、次の話は顧客の側から持ち込まれた。装置事業を率いる南部勇雄氏は「お客さまから『製造装置もやってみたらいいのでは』とお声がけいただき、いくつか挑戦する中でCMP装置の事業が始まった^[6]」と述べている。半導体分野で最初の製品を出してから6年後の1992年、荏原はCMP装置を世に出した。部品を納める会社が装置を売る会社になる転換であった^[5]。

技術としては無理のある取り合わせであった。CMP装置は削り屑にまみれる研磨部と、半導体製造でもっとも清浄さを求められる洗浄部を一つの装置に収める必要がある。開発を任された辻村学氏は、超高真空を目指してきた技術者として「汚いプロセスをやれと言われても、にわかに信じられなかった」と振り返る。乾いた状態でウエハを出し入れするドライインドライアウト方式は営業部からも反対され、1枚8万円のウエハを削っては捨てる日が続いた^[7][8]。

もっとも、当時の荏原にとって半導体は最優先の投資先ではなかった。1991年度に始まった中長期経営計画「ACT'95」は、1996年3月期までに売上高を2,492億円から4,200億円へ伸ばし、ポンプを主力とする風水力事業の比率を53%まで落とす目標を掲げていた。残る47%、約2,000億円の中核に据えられたのは環境事業である。半導体製造装置は電子線排煙脱硫・脱硝装置と同じ「新分野」の枠に入り、構成比は1991年度の9%から1995年度に22%へ、という想定であった^[9][10]。

それでも、1980年代のコーポレートプロジェクトから事業として残ったのはCMP装置だけであった。研磨という古い技術を半導体の平坦化工程へ持ち込んだこの装置は、2004年の時点で年商300億円規模に育ち、荏原は米アプライドマテリアルズとともに世界市場の9割を握るまでになる。2001年6月には熊本県に設けた荏原九州が量産を開始し、試作の域を出た^[11][12]。

2016年11月、荏原は熊本事業所に半導体製造装置の生産工場とドライ真空ポンプのサービス工場を増設した。同じ年、前田東一社長は精密・電子事業について「80年代、半導体分野でポンプなどの技術を生かすべく参入し、30年がかりで育成した」と述べている。顧客の要求水準に鍛えられて需要が落ちても利益の出る「最も筋肉質な事業」になり、ドライ真空ポンプは4社、CMPは2社が残る競争を勝ち抜いていた^[13][14]。

2025年12月期の精密・電子は売上収益3,422億円と全社の36%を占め、セグメント利益577億円は5事業合計1,166億円のほぼ半分に達した。CMP装置の世界シェアは2位、売上高営業利益率18%は全事業で最も高い。CMPの受注は2025年第3四半期の331億円から第4四半期に685億円へ伸び、南部勇雄氏はメタル層向けの比率上昇とシェア拡大を伸びの理由に挙げている。祖業のポンプではなく、遠い畑が最大の稼ぎ手になった^[15][16][17]。