藤沢工場で真空ポンプ生産（1987年・荏原製作所の決断）

何をなぜ決めたか：半導体製造装置分野への参入と、CMP装置の事業化

概要

1985年に社内のコーポレートプロジェクトとして電子事業へ参入し、1987年7月に藤沢工場内へ精密機械工場を建設して半導体産業向け真空機器の生産を開始した経営判断。液体を送るポンプの技術を、気体を扱う真空機器へ振り向ける試みで、1992年には顧客の求めに応じてCMP（化学機械研磨）装置の事業化にまで進んだ。

背景

参入の決断を下したのは、当時社長の畠山清二氏である。1988年にその後を継いだ藤村宏幸氏は後年、ポンプ事業がこの先伸びるのか、見通しはどうかを見極めたうえで、この事業一本では稼ぐ力が低下していくと判断したと振り返っている。1980年代の荏原製作所では、ポンプ事業が売上高のほぼ7割を占めていた。官公需も創業以来一貫して売上高の3割から5割にのぼっていた。1980年代後半になるとポンプの比率は8割を超え、官公需の比率も5割に達し、研究開発が既存技術の手直しに偏りがちだという懸念が社内で強まったのもこの時期である。

内容

藤沢工場内の精密機械工場でドライ真空ポンプを手がけ、顧客からの声がけを受けてCMP装置へ進んだ。研磨部と洗浄部を一つの装置に収めるドライインドライアウト方式は社内の営業部からも反対され、1枚8万円のウエハを削っては捨てる開発が続いた。

含意

参入から14年後の2001年に熊本で量産が始まり、2016年には同地の工場を増設した。2025年12月期の精密・電子は売上収益3,422億円・セグメント利益577億円と、5事業の利益合計1,166億円のほぼ半分を稼ぐ事業に育っている。