荏原製作所藤沢工場で真空ポンプ生産：半導体製造装置分野への参入と、CMP装置の事業化
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- 概要
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1985年に社内のコーポレートプロジェクトとして電子事業へ参入し、1987年7月に藤沢工場内へ精密機械工場を建設して半導体産業向け真空機器の生産を始めた経営判断。液体を送るポンプの技術を、気体を扱う真空機器へ振り向ける試みで、1992年には顧客の求めに応じてCMP（化学機械研磨）装置の事業化にまで進んだ。
- 背景
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1980年代の荏原製作所は売上高のほぼ7割をポンプ事業が占め、そのうち官公需が3割から5割を占める構造にあった。安定した顧客を抱える一方で、研究開発が既存技術の改良に傾く懸念が社内で語られ、藤村宏幸社長はポンプだけに頼れば収益力が低下すると判断していた。
- 内容
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藤沢工場内の精密機械工場でドライ真空ポンプを手がけ、顧客からの声がけを受けてCMP装置へ進んだ。研磨部と洗浄部を一つの装置に収めるドライインドライアウト方式は社内の営業部からも反対され、1枚8万円のウエハを削っては捨てる開発が続いた。
- 含意
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参入から14年後の2001年に熊本で量産が始まり、2016年には同地の工場を増設した。2025年12月期の精密・電子は売上収益3,422億円・セグメント利益577億円と、5事業の利益合計1,166億円のほぼ半分を稼ぐ事業に育っている。
畑違いを引き受けた順序
1992年にCMP装置へ手を伸ばしたとき、荏原は自分から装置メーカーになろうとしたわけではなかった。真空ポンプで信頼を得た先に『製造装置もやってみたらいいのでは』という顧客の言葉があり、そこから始まったと南部勇雄氏は語っている。部品を納める会社が装置を売る会社へ変わる転換を、荏原は自社の構想としてではなく顧客の求めに応じて引き受けた。社内の計画でも半導体は環境事業の後ろに置かれており、この判断が全社の看板を背負っていたわけではないとみることができる。
もっとも、引き受けた側の負担は軽くなかった。研磨部と洗浄部を一体にする方式は営業部からも反対され、1枚8万円のウエハを削っては捨てる時期が続き、量産の拠点が熊本に立つまでには参入から14年を要している。1980年代のコーポレートプロジェクトの多くは事業として残らず、CMP装置だけが例外であった。顧客に言われて始めた事業が三十年後に最大の利益源になったのは、言われた後に十数年こらえ続けた結果であって、参入を決めた判断そのものの巧拙とは切り離して見る必要があるといえる。
Yutaka Sugiura, 2026年7月
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