日本マイクロニクス：トーワ電気の保守業から日本マイクロニクスのプローブカードへ

日本マイクロニクスは1970年11月、東京都目黒区上目黒五丁目27番16号にトーワ電気株式会社として設立された。トーワ電気はシンクロスコープ、ファクシミリ、産業半導体、真空試験装置のメンテナンスを設立の目的に掲げた。4つの対象はいずれも他社が作った機器であり、トーワ電気は自社製品の設計と製造を設立時の事業に含めていない。創業者の長谷川義榮氏は1939年5月3日生まれで、設立と同時に代表取締役社長へ就任した。長谷川社長は2007年4月に代表取締役会長へ移るまで、36年5か月にわたって社長を務めた。

設立から8か月後の1971年7月、トーワ電気は本社を東京都目黒区から東京都武蔵野市へ移した。移転と同じ月に、半導体を対象とした計測技術および微細加工技術の研究開発に取りかかった。1973年11月には半導体検査装置および精密測定機器を開発し、販売を開始した。設立から3年1か月で、同社は他社が作った機器を保守する立場から、自社で設計した機器を売る立場へ移った。日本マイクロニクスは後年、1970年に電子測定技術を活かした電子機器の保守事業から始まり、1973年から半導体関連の検査・測定機器の開発・製造・販売を行ってきたと要約した。