長谷川義榮

長谷川義榮氏は1939年5月3日に生まれ、1961年9月に株式会社ユニテックへ入社した。同社の事業は、後に株式会社ユニコーンへ譲渡されている。入社から9年余りを経た1970年11月、長谷川義榮氏は31歳で東京都目黒区上目黒にトーワ電気株式会社を設立し、代表取締役社長に就任した。

設立時に掲げた目的は、シンクロスコープ、ファクシミリ、産業半導体、真空試験装置の4種の機器の保守であった。会社は後年、この出発点を電子測定の技術を生かした電子機器の保守事業と位置づけている。翌1971年7月には本社を東京都武蔵野市へ移し、半導体を対象とする計測技術と微細加工技術の研究開発に着手した。1973年11月に半導体検査装置と精密測定機器の販売を始め、設立から3年で自社の製品を持つ会社に転換した。1975年4月には商号を株式会社日本マイクロニクスへ改めた。長谷川義榮氏によれば、社名は極めて微小な世界を扱うマイクロエレクトロニクスをもじった造語である。

中核の製品となったのは、1976年3月に開発したプローブカードである。ウェーハ上に作られたICの微細な電極に針を接触させて電気信号を取り出し、測定機のテスターへ正確に受け渡す器具で、長谷川義榮氏はこの接触の部分こそ技術の難所だと説明した。1977年8月にはマニュアルプローバの1号機を完成させた。大手半導体メーカーが自社でプローブカードを作る試みもあったが、成功した例はないと長谷川義榮氏は述べている。生産では1981年5月に、自身の出身地である青森県南津軽郡平賀町に平賀工場を新設し、1985年8月に大分工場、1987年3月に熊本工場を設けた。

1985年12月には液晶ディスプレイ検査装置の1号機を完成させた。それまでは半導体向けの装置を一部改造して液晶パネルメーカーに納めていたが、ラップトップパソコンの量産化に伴って専用機を求める声が強まり、液晶基板専用の検査装置を国内で初めて商品化したものである。

1997年4月、日本証券業協会に株式を店頭登録した。公開後は設備投資を積み増し、1998年2月に青森工場でプローブカードを製造する新棟を建てた。知名度の向上で採用も進み、新卒30人を含む約80人を加えて、約1年で生産能力を5割近く引き上げた。同年6月には新工場の用地として松崎に21,800平方メートルの土地を取得し、2000年7月に青森松崎工場を増設した。2004年12月にジャスダック証券取引所へ上場の場を移し、2007年4月に長男の長谷川正義氏へ社長を譲った。