- 芝浦メカトロニクスの社長は1998年10月の社名変更（旧芝浦製作所＋東芝メカトロニクスの合併で芝浦メカトロニクスが誕生）以降、森田茂樹氏（〜2007年6月）・南健治氏（2007年6月〜2013年6月）・藤田茂樹氏（2013年6月〜2020年6月）・今村圭吾氏（2020年6月〜現在）と続いている。創業者個人は存在せず、いずれの社長も東芝出身者で、東芝グループ内のローテーション色が強い人事系譜となっている。
- 現任は今村圭吾代表取締役社長執行役員（1962年9月30日生まれ、63歳）で、2018年6月時点では取締役常務執行役員・ファインメカトロニクス事業部長として登場し、2019年に専務へ昇格、2020年6月に社長就任した内部昇格型のCEOである。半導体製造装置（ファインメカトロニクス事業）を主軸とする同社で、その事業部長経験者が社長になるのは合理的な承継であった。
歴代社長1969年上場198019902000201020202026年
1969〜2003年は在任者を資料で追えず、帯を空けている（有価証券報告書の遡れる範囲の外）。
※ 退任年を資料で確認できていない代。期間は次の代が就任した年（最終代は上場廃止年）までで、実際の在任はこれより短いことがある。
今村圭吾
就任前の売上 471億円
直近の売上 880億円
藤田茂樹
ふじた しげき
就任前の売上 304億円
退任時の売上 471億円
南健治
就任前の売上 747億円
退任時の売上 304億円
森田茂樹
もりた しげき
就任前の売上 675億円
退任時の売上 747億円
※ 退任年を資料で確認できていない代。期間は次の代が就任した年（最終代は上場廃止年）までで、実際の在任はこれより短いことがある。