レーザーテックEUVマスク検査装置への集中開発と「世界で唯一の供給者」の地位確立

2009年、社長に就いた岡林理氏は、売上の約半分を占めていた液晶事業を縮小し、経営資源を半導体検査へ集中させた。差別化のきかない事業を続ける危うさを断ち、技術で他社と差をつけられる領域へ絞り込む判断であった。だが半導体検査に賭けを絞ったところで、次にどの技術で勝つのかという問いは残った。工場を持たないファブライトの身軽さを持つ中堅企業が、次の柱をどこに置くかが問われていた^[1]。

目を付けたのが、極端紫外線（EUV）を用いる次世代のリソグラフィであった。EUVは5GやAIといった最先端の半導体製造に欠かせない技術になると見込まれ、その量産にはマスクの欠陥を捉える検査が要る。ただし市場が本格的に立ち上がる時期は読みにくく、開発の難度も高かったため、大手の装置メーカーは投資を見送っていた。誰も確実とは言えない技術に、資源を注ぐかどうかが判断の分かれ目であった^[2]。

レーザーテックが選んだのは、最も難しいEUVマスク検査という一点へ資源を集中する道であった。2011年6月期の同社は従業員200人規模・売上高118億円の中堅企業で、数十億円規模の開発投資は身の丈に対して重かった。それでも、半導体集中を貫くなら最難関の技術から逃げないという判断で、EUV検査装置の独自開発へ本格的に踏み込んだ。岡林理氏は後にこの路線を、大手が降りたニッチ領域で成長を続ける戦略として語っている^[3][4]。

集中投資は、二つの世界初となって結実した。2017年、EUVマスクの土台となるブランクスの欠陥を捉える検査装置ABICSを世界で初めて実用化した。続く2019年には、実波長のEUV光でパターンマスクの欠陥を捉える検査装置ACTISを世界で初めて実用化し、EUVマスク検査の全工程を自社製品で網羅した。大手が参入をためらう間に、同社は誰も持たない検査技術を先に築き上げた^[5]。

EUVマスク検査を担う装置を世界で唯一供給する立場は、最先端半導体メーカーにとって代替のきかない位置を同社に与えた。EUV量産を進める台湾積体電路製造、インテル、サムスン電子が主要な顧客となり、各社の投資拡大がそのまま同社の受注へ結びついた。工場を持たないファブライト経営とニッチ独占が重なり、装置1台あたりの付加価値と利益率は突出して高かった^[6]。

数字は劇的に伸びた。岡林理氏の就任時に約86億円だった売上高は、2025年6月期に2,514億円へおよそ29倍へ拡大し、営業利益率は48.8%という過去最高の水準に達した。岡林理氏は、就任後に時価総額が200倍規模へ伸びた変貌の背景を、ニッチ分野での独占と研究開発の継続投資の両面で説明した。赤字に沈んでいた小さな検査装置メーカーが、EUVへの一点集中によって半導体装置業界の上位へ躍り出た^[7][8]。