有限会社東京ITV研究所を創業
松下通信工業に勤務していた内山康(当時29歳)が独立を決意し、1960年に「有限会社東京ITV研究所」を創業した。
創業時から「世の中にないものを作る」という理念を掲げていたというが、当初は松下電器向けに「X線ビデオカメラ」の受託開発を行なっていた。
日本自動制御株式会社を設立
ビデオテープ向け検査装置を開発
下請けから脱却し、事業の本格展開のため、新規事業に参入。当時普及しつつあったビデオテープに使用する「磁気テープ」の品質を検査するための「テンションアナライザー」を開発し、検査装置事業に本格参入した。
磁気テープの幅が一定であることを計測するために、二台のカメラを用いた装置を開発した。
この結果、光学技術を各種製造装置に応用させることが、今日に至るまでレーザーテックの特色となった。
顕微鏡自動焦点装置を開発
光学技術を応用して、顕微鏡の関連部品を開発した。
続いて、1980年代には顕微鏡の製造に参入し、好況・不況の波が激しい検査装置事業の影響を緩和するために、安定した需要がある顕微鏡の事業を継続した
半導体フォトマスク向け検査装置を開発(世界初)
半導体製造における回路印刷(露光)に必要になる「フォトマスク」に関して、フォトマスクに欠陥がないかを判別するための検査装置「フォトマクス欠陥検査装置」を世界で初めて開発した。フォトマスク向けの検査装置が、2022年の現在に至るまでレーザーテックの主力事業に育ったため、同社の歴史におけるもっとも重要な製品開発である。
1970年代は半導体の量産工程が自動化されていく黎明期であり、フォトマスクという技術が登場した時期であった。だが、当時はフォトマスクに問題がないことを検査するためには人手が必要で、顕微鏡を覗いてマスクに描かれた回路に不良箇所がないかを調査しており、信頼性や過酷な労働が問題になっていた。
労働集約的なフォトマスクの検査工程に着目し、レーザーテックは二台のカメラを活用した「Die to Die」という検査方式を開発。フォトマスクに隣接する2つのチップをカメラで捉えて、これらの画像を比較することによって、正常かどうかを判断する技術を開発した。
この技術は、ビデオテープの検査装置に活用されたものであり、半導体向けのフォトマスク検査装置にも技術が応用された。
日本はアメリカを追い越しつつあるといわれているが、新しいタイプのLSIの発明や、LSIの製作または検査のための装置の開発に関しては、アメリカに遥かに及ばない。われわれは30名ばかりの陣容で、アメリカに先駆けてLSIフォトマスク決算検査装置を開発し、日本のLSIの品質、歩留まりの向上に大きく貢献した。アメリカにおいては、我々よりも1年ばかり遅れて同じような目的に使う検査装置が発表された。このようなLSI関係の高度の装置を、日本の方が先に開発したのは珍しいといわれている。
売上高19.7億円
半導体フォトマスク向けの検査装置が好調。売上高19.7億円へ
売上高41億円・経常利益15億円
フォトマスク検査装置が好調で増収増益を達成。ただし、翌年からの半導体不況により減収減益となったため、この時点の業績が上場前のピークであった