1969年4月、米国ゼネラル・エレクトリック社（GE）開発のニュクリポアー・メンブレン（超精密ろ過膜）の日本・極東地区独占販売を目的に、東京都中央区日本橋本石町で野村マイクロ・サイエンス株式会社が設立された。北興化学工業株式会社のニュクリポアー部門が技術面の母体となり、創業時は米GE製ろ過膜の代理店として日本・東アジア市場の独占販売権を持つ輸入商社の形態であった。1972年12月にはGE社と共同でNuclepore Corporation（NPC社）を米国に設立しNPC社株式の23%を取得、上流の製造側に資本参加して販売会社から一歩立ち位置を移した^[3]。1973年11月には北興化学工業ニュクリポアー部門の人員・資産を統合し、ニュクリポアー・メンブレンと関連機器の製造販売体制を一体化した。北興化学工業はこの前後から大株主第1位の位置にあり、以後も約10%強を保有する筆頭株主であり続けている^[1][2][4][5]。

創業から4年で野村マイクロ・サイエンスは「米GE社の輸入代理店」から「ろ過膜と関連機器を一体製造販売する装置メーカー」へ転換した。だが装置メーカーとしての事業転換点は、1974年1月に米アクアメディア社の超純水技術を導入して超純水製造システム事業に参入した時点である^[6]。ニュクリポアー・メンブレンは半導体製造工程の洗浄水・製薬向けろ過水の供給を担う基幹部品で、これを組み込んだ超純水製造装置を一体提供することで、消耗品（フィルター・イオン交換樹脂）の継続販売を伴うシステム事業へ事業構造を移行できた。1976年3月にはRO（逆浸透膜）によるパイロジェン（細菌の菌体成分の一部）除去システムを開発し、国内製薬会社に納入して医薬向け事業の起点も築いた^[7]。

1980年7月、逆浸透装置の国産化を図るため、日本アクアメディア株式会社（1991年8月に株式会社ナムテックに商号変更）を米アクアメディア・日揮株式会社（現日揮ホールディングス株式会社）・野村マイクロ・サイエンスの3社合弁で設立した（野村マイクロ・サイエンス出資比率33.3%）^[8]。RO装置の国産化は、米国メーカーからのライセンス受入を土台に日本市場向けへ製品を現地化する転換点で、輸入販売から国内生産へ供給構造を一段移した。プラントエンジニアリングの日揮を合弁先に取り込んだことは、半導体・化学プラント領域の取引網拡大にもつながり、後にナムテックは2006年1月に野村マイクロ・サイエンスへ吸収合併されグループに一体化した^[9]。

1983年2月、韓国三星半導体通信（当時）に超純水装置を輸出し韓国市場に進出した^[10]。三星電子は1980年代以降に半導体DRAM市場で日本メーカーを追い抜く成長を遂げ、その製造工程に必要な超純水装置を野村マイクロ・サイエンスが継続供給する関係が成立した。以後の海外展開は、韓国メーカーの海外進出を追って野村マイクロ・サイエンスが現地法人を設立する構造で動いた。1993年12月には三星電子からのメンテナンス受注のため韓国に合弁会社株式会社野村テクノを設立（出資比率50%、1999年8月に株式会社野村コリアへ商号変更、現在は出資比率100%）し、韓国メンテナンス拠点を整えた^[11]。

1996年1月には三星電子の米国進出に伴い米国に100%子会社野村マイクロ・サイエンスUSA, Inc.を、1997年9月には韓国・LG半導体の英国進出に伴い英国に野村マイクロ・サイエンスUK Ltd.を設立した（両社とも後に清算）^[12][13]。1987年7月には台湾・極水股份有限公司に超純水装置を納入して台湾市場に進出、1995年5月に台湾支店を開設（2015年10月閉鎖）した^[14][15]。1991年8月には本社・研究拠点を厚木市岡田に集約し新社屋を建設した^[16]。1977年7月に日本橋鍛冶町、1981年2月に東京都千代田区大手町と本社を移した後、厚木への移転で所在地が定着し、創業地・東京都中央区日本橋本石町を離れて装置開発・営業・管理を一拠点に集約した運営体制が整った^[17]。神奈川県厚木市の本社所在は現在まで続いている。

2001年2月、台湾Hantech社との合弁で中国に上海野村水処理国際貿易有限公司を設立（野村マイクロ・サイエンス出資比率70%、後にHantech社へ持分譲渡^[19]）し、中国市場進出の起点を作った^[18]。2006年1月には台湾Hantech社との合弁で中国に上海野村水処理工程有限公司を設立（出資比率70%、現100%）し、中国生産・施工拠点を整えた^[20]。2006年は野村マイクロ・サイエンスの業容拡大が並列的に進行した年で、ナムテックとアグルー・ジャパンを野村マイクロ・サイエンスに吸収合併（グループ再編・事業一体化）、米国に100%子会社野村マイクロ・サイエンスUSA Ltd.,Coを設立（米国再進出）、シンガポールにも100%子会社（後に2008年12月清算）、野村ピュアを吸収合併──と組織再編と国際展開が同時進行した^[21]。

2007年10月、ジャスダック証券取引所（現東京証券取引所JASDAQスタンダード）に株式を上場した^[22]。創業から38年で公開市場入りを果たし、輸入代理店から半導体・FPD・製薬向け超純水装置の専業メーカーへの長い転換がいったん区切りを迎えた^[23]。上場時のFY06（2007年3月期）の連結売上高は272億円、FY05（2006年3月期）は185億円で、海外比率を含む装置受注を主軸とした事業構造が固まっていた。米GE製ろ過膜の輸入販売事業から半世紀近くを経て上場装置メーカーへ転換した経路は、戦後日本の輸入技術導入型の独立装置メーカーが歩んだ典型的な軌跡である。

JASDAQ上場直後の2008年9月、リーマンショックが半導体製造装置メーカー各社の業績を直撃した。FY08（2009年3月期）の連結売上高は214億円とFY07の250億円から14.5%減、続くFY09（2010年3月期）は114億円とFY08比46.9%減・経常損失5億円となり、上場後初の赤字決算となった。FY10（2011年3月期）は220億円・経常利益7億円と一時的な回復を示したが、FY12（2013年3月期）133億円・経常赤字、FY13（2014年3月期）150億円・経常赤字、FY14（2015年3月期）121億円・営業赤字5.5億円と、3期連続で純損失を計上した。創業以来の最大の業績悪化局面となり、装置受注主体の収益振動の幅が大きい事業特性が顕在化した。

赤字の主因は二つあった。第一に、リーマンショック後の世界半導体投資縮小により装置受注が急縮小した一方で、グローバル子会社網と研究開発投資は固定費として残った。創業以来の三星電子・LG半導体・台湾顧客向け装置取引が、製造業の設備投資判断に直接連動する構造で、需要振動の幅が経営に重く乗った。第二に、2006〜2007年の事業拡大期に整備したアジア・米国子会社網の維持コストが、装置受注縮小局面では収益圧迫要因となった。当時の社長・千田豊作氏は1969年の創業以来の最長社長として在任を続けたが、上場後の市場環境変化への対応が事業構造改革にまでは至らなかった^[24]。

2014年に横川收氏（住友化学・住友ベークライト系の経歴）が代表取締役社長執行役員に就任、千田豊作氏は代表取締役会長兼社長から取締役へ移った^[25]。3期連続赤字の最終年であるFY14（2015年3月期）は売上121億円・営業赤字5.5億円だったが、横川氏在任中のFY15（2016年3月期）は売上178億円・営業黒字3.2億円へ転じ、赤字局面を脱した。ただし黒字を継続的な収益力へ引き上げる推進力は、2017年2月に代表取締役社長へ就任した八巻由孝氏（1957年4月生、住友ベークライト出身、1985年野村マイクロ・サイエンス入社）が担った^[26]。

八巻氏は東京理科大院工学研究科修了（1982年）後、住友ベークライト株式会社に入社後、1985年に野村マイクロ・サイエンスへ転じた生え抜き経営者である^[27]。住友ベークライト時代の樹脂・素材技術のバックグラウンドを活かし、超純水装置の薄膜・流体制御技術の高度化に注力した。同氏在任中のFY16（2017年3月期）売上165億円・営業利益7.7億円、FY17（2018年3月期）売上216億円・営業利益12.4億円、FY18（2019年3月期）売上251億円・営業利益12.1億円、FY19（2020年3月期）売上210億円・営業利益18.5億円と、上場後の収益力が改善した。

2011年11月に韓国に株式会社NAD（後に野村マイクロ・サイエンスコリアに統合）を設立して海外R&D拠点を整備し、2013年11月に韓国京畿道華城市に研究所を設置した^[28][29]。海外顧客に近い場所での研究開発体制は、半導体メーカーが要求する微細化対応の超純水水質管理を継続的に高度化する土台だった。2018年12月にはAEO制度における「特定輸出者」の承認を取得し、輸出貿易の通関効率化も行った^[30]。八巻氏在任中の最大の成果は、米国子会社野村マイクロ・サイエンスUSA Ltd.,Coの位置づけの転換である。

FY20（2021年3月期）の連結売上高は303億円とFY19の210億円から44.4%増、営業利益39.7億円・純利益26.2億円と上場後の最高水準を更新した。リーマンショック後の3期連続赤字からの回復が完了し、FY21（2022年3月期）売上319億円・営業利益44.3億円、FY22（2023年3月期）売上496億円・営業利益65.5億円と、半導体投資の世界的拡大局面を捉えて成長軌道に入った。背景には、5Gスマートフォン・AIサーバー・データセンター向けの先端半導体需要が世界的に拡大し、TSMC・三星電子・Intel・マイクロン等の半導体メーカーが米国・アジアで設備投資を計画したことがある。

2020年5月に東京証券取引所JASDAQから同取引所市場第二部に市場変更、2021年6月に市場第一部銘柄に指定、2022年4月の市場区分見直しに伴いプライム市場へ移行と、市場区分が上昇した^[31][32][33]。半導体・FPD・製薬向け超純水装置の専業メーカーとして、機関投資家比率の上昇に応じた市場での評価ステージアップが続いた。八巻氏の退任は2023年4月で、引継ぎを受けた内田誠氏（三菱レイヨン出身、現三菱ケミカル）が代表取締役社長執行役員に就任した^[34]。八巻体制6年は、上場直後のリーマンショック・3期連続赤字からの回復と、半導体投資ピーク取り込みの起点形成という二つの転換を担い終えた。

2023年4月、内田誠氏（1958年2月生、三菱レイヨン株式会社・現三菱ケミカル株式会社入社）が代表取締役社長執行役員に就任し、八巻由孝氏は2017年からの6年の在任を終えた^[35]。前任の八巻氏が住友ベークライト出身の樹脂・素材技術系であったのに続く起用で、化学・素材業界からの転籍経営者が連続して登板した。超純水装置を構成する基幹素材（フィルター・イオン交換樹脂・配管材料）の専門知識を経営層に置く人事は、技術面の母体が北興化学工業ニュクリポアー部門であった出自と整合し、装置設計と素材技術の両面を社長が把握する体制を継いだ形である。

内田氏は就任後まもなく中期経営計画「TTT-26（Together Toward Transformation-26）」を策定した^[36]。2026年度の経営目標として連結売上高1,010億円・営業利益146億円・ROE25%以上・ROIC22%以上を掲げ、売上規模でなく資本効率を中軸に据えた^[37]。リーマンショック後の3期連続赤字を経験した同社が、業績拡大期にこそROE・ROICを可視化したのは、機関投資家比率の上昇（日本マスタートラスト信託銀行がFY24で発行済株式の7.86%を保有し第二位）に対応した判断であり、サイクル反転時の収益振動への耐性を経営目標として明示する狙いがあった^[38]。

FY23（2024年3月期）の連結売上高は730億円とFY22の496億円から47.2%増・営業利益107億円、FY24（2025年3月期）は売上963億円・営業利益153.7億円・営業利益率16.0%とJASDAQ上場以来の最高水準を記録し、TTT-26の2026年度目標売上1,010億円に対しFY24時点で95.4%まで進捗した。業績拡大の主因は地域構成の転換にある。米国子会社野村マイクロ・サイエンスUSA Ltd.,Coの売上は523億円・経常利益84億円・純利益71億円と、連結売上の54%・経常利益の63%を占めた^[39]。2006年2月に設立したこの米国子会社が、TSMC・Intel・マイクロンの米国先端半導体投資（CHIPS法による補助）を受注し、連結業績の過半を担う立場へ転じた^[40]。

2023年1月、中国・水翼（上海）成套工程有限公司の全出資持分を取得し、商号を野村（上海）水処理工程技術有限公司に変更してM&Aによる中国事業の補完を行った^[41]。2025年1月には上海野村水処理工程有限公司を存続会社として野村（上海）水処理工程技術有限公司を吸収合併し、中国事業を1法人に集約した^[42]。中国市場では2001年2月の合弁設立以来、Hantech社との合弁・持分譲渡・吸収合併と複雑な経緯を辿ってきたが、25年弱を経て中国事業を上海野村水処理工程有限公司の単一法人に整理し終えた^[43]。

2024年11月、シンガポールへの営業強化及び東南アジア地域への事業展開を図るため、野村マイクロ・サイエンスSingapore Pte. Ltd.を設立（出資比率100%）した^[44]。2018年8月設立のベトナム子会社（2021年3月清算決議）撤退後の東南アジア再進出で、シンガポール拠点を東南アジア展開の起点に位置づけている^[45]。半導体製造業のグローバル布陣がアジア・米国・欧州の三極構造に再編されるなか、台湾TSMCの先端半導体投資、米国TSMC/Intel/マイクロンの新工場建設、東南アジアのASEAN各国へ広がる半導体組立・パッケージ工程の拡大に合わせ、野村マイクロ・サイエンスは拠点配置を組み替えた。

直近の事業環境は、世界半導体投資が拡大期にあるなかで装置受注の振動の幅をどう捌くかが経営課題である。FY24売上963億円・営業利益153.7億円は、リーマンショック後のFY09売上114億円・経常赤字5億円から見れば8倍規模の収益体制で、半導体製造装置メーカーとしての事業規模はJASDAQ上場以来の最高水準にある。だが過去の経験が示すように、半導体投資サイクルが反転すると装置受注は数年で半減する。FY10に売上220億円・経常利益7億円へ一時回復した後、FY12からFY14まで3期連続で純損失を計上した経緯は、設備投資判断に直接連動する装置受注主体の収益が、世界半導体投資の縮小局面で固定費に対して急減する事業特性を示している。

中期経営計画TTT-26が掲げる「ROE25%以上・ROIC22%以上」の目標は、業績が拡大する時期にこそ資本効率を可視化し、受注の振動に対する耐性を経営目標として明示する意図による^[46]。1969年の輸入代理店として創業して以来、野村マイクロ・サイエンスは「装置を売って終わり」ではなく「装置を売った後の消耗品とメンテナンスで継続稼ぐ」ストック型の収益基盤を育ててきた^[47]。半導体メーカーが工場を稼働し続ける限り、超純水装置のフィルター・イオン交換樹脂・カートリッジ等の消耗品需要は継続するため、装置受注の振動を消耗品売上の安定が一部緩和する事業構造である。だがFY24時点で売上の中核はなお装置受注に置かれており、サイクル反転局面での収益振動の幅をどこまで縮められるかが、内田誠氏在任中のTTT-26期間中（〜2026年度）の試金石である。

創業期（米GE製ろ過膜の輸入販売）、千田豊作期（FY99-FY13）の海外子会社網形成、横川收期（FY14-FY15）の事業構造模索、八巻由孝期（FY16-FY22）のリーマン後復元と半導体投資取り込み起点形成、そして内田誠期（FY23-現任）のAI・先端半導体投資ピーク取り込みと資本効率重視への転換──野村マイクロ・サイエンスの半世紀超の歴史は、戦後日本の輸入技術導入型独立装置メーカーが、半導体産業の周辺装置メーカーとして米国先端半導体メーカー向けの主力サプライヤーへ転じた稀有な軌跡を示している^[48]。半導体製造のグローバル布陣が再編されるなか、投資ピーク後の縮小局面に対する収益の耐性と、米国・中国・東南アジアにまたがる地域構造の組み替え速度が、この装置メーカーの次の成否を分ける。