歴代社長 — 任期および後継の系譜：26カ年の傾向代表取締役社長・CEO の在任期間と承継の構造

• 1969年創業以来の歴代社長は千田豊作（FY99以前〜FY13）・横川收（FY14〜FY15）・八巻由孝（FY16〜FY21）・内田誠（FY23〜現任）の4名。同社は同族継承型ではなく、創業期幹部からプロ経営者・素材業界出身者へと社長交代を重ねた点が特徴的である。創業期からの最長社長・千田豊作氏は北興化学工業出身で、1973年のニュクリポアー部門統合以来、半世紀に渡って同社の中核に在籍し、現在も取締役・大株主（FY24時点で発行済株式の3.11%を保有）として残る。
• 八巻由孝氏（1957年4月生）は1982年に東京理科大院工学研究科を修了、同年住友ベークライト株式会社に入社後、1985年に野村マイクロ・サイエンスへ転じた生え抜き経営者である。2004年取締役・2011年専務執行役員を経て2017年2月に代表取締役社長に就任し、2017年〜2022年の半導体投資拡大期を率いた。住友ベークライト出身の樹脂・素材技術のバックグラウンドを活かし、超純水装置の薄膜・流体制御技術の高度化に注力した。
• 現任の内田誠氏（1958年2月生）は三菱レイヨン株式会社（現三菱ケミカル株式会社）に入社後、化学素材・営業出身として2023年4月に代表取締役社長執行役員に就任した。AI・先端半導体向け超純水装置需要のピーク期を率い、中期経営計画TTT-26（Together Toward Transformation-26、2026年度売上1,010億円・営業利益146億円・ROE25%以上・ROIC22%以上）を策定して資本効率重視の経営姿勢を明示している。

取締役一覧 — 独立性および専門領域：7カ年の傾向社長・代表取締役を含む取締役の構成バランスと社外独立性

• 2025年3月期時点の取締役は代表取締役社長執行役員1名（内田誠）+常務執行役員2名（西江勝治、芳賀孝之）+執行役員兼取締役（西村司朗、井上嘉成、瀬戸口一彦、阿部嗣、依田博明）+取締役（三阪雅登）+取締役相談役（千田豊作）の業務執行系9名と、社外監査等委員5名（佐藤光輝・坂野英雄・新島由未子・片岡久依・田中伸介）+常勤監査等委員（瀬下忍・小柴真彦）の監督系構成。執行と監督を分離した監査等委員会設置会社の形式を採用している。
• 出身別では生え抜き4名（井上嘉成・依田博明・瀬戸口一彦・阿部嗣がいずれも野村マイクロ・サイエンス入社）と、化学・素材業界からの転籍組（八巻由孝＝住友ベークライト、内田誠＝三菱レイヨン、芳賀孝之＝トヨタ自動車、田中伸介＝三菱重工業、片岡久依＝東陶機器）、北興化学工業系（千田豊作・市橋仁）、神東塗料・有限会社アクアシステム等の業界転籍組（三阪雅登・西江勝治）が混在する。
• 専門領域分布はエンジニアリング・技術系（八巻由孝・依田博明・芳賀孝之）、化学素材・営業系（内田誠・千田豊作・西江勝治）、本社管理系（三阪雅登・西村司朗・阿部嗣）、社外監督系（佐藤光輝・新島由未子は弁護士、坂野英雄・片岡久依は公認会計士、田中伸介は三菱重工系、瀬下忍は山一證券出身の財務系）と分散し、半導体製造装置の技術・営業・管理を機能別に役員ポストへ配分しつつ、社外監査等委員5名で監督機能を強化している。

現在の取締役（役員）の詳細・株主総会における選任賛成比率最新の有価証券報告書の提出時点（2025年3月） · 在任期間と役職の変遷（2018年度以降）

過去の取締役（役員）の詳細退任した取締役 · 在任期間と役職の変遷（2018年度以降）