- 1969年創業以来の歴代社長は千田豊作（FY99以前〜FY13）・横川收（FY14〜FY15）・八巻由孝（FY16〜FY22）・内田誠（FY23〜現任）の4名。同社は同族継承型ではなく、創業期幹部からプロ経営者・素材業界出身者へと社長交代を重ねた点が特徴的である。創業期からの最長社長・千田豊作氏は北興化学工業出身で、1973年のニュクリポアー部門統合以来、半世紀に渡って同社の中核に在籍し、現在も取締役・大株主（FY24時点で発行済株式の3.11%を保有）として残る。
- 八巻由孝氏（1957年4月生）は1982年に東京理科大院工学研究科を修了、同年住友ベークライト株式会社に入社後、1985年に野村マイクロ・サイエンスへ転じた生え抜き経営者である。2004年取締役を経て2017年2月に代表取締役社長に就任し、2017年〜2022年の半導体投資拡大期を率いた。住友ベークライト出身の樹脂・素材技術のバックグラウンドを活かし、超純水装置の薄膜・流体制御技術の高度化に注力した。
- 現任の内田誠氏（1958年2月生）は三菱レイヨン株式会社（現三菱ケミカル株式会社）に入社後、化学素材・営業出身として2023年4月に代表取締役社長執行役員に就任した。AI・先端半導体向け超純水装置需要のピーク期を率い、中期経営計画TTT-26（Together Toward Transformation-26、2026年度売上1,010億円・営業利益146億円・ROE25%以上・ROIC22%以上）を策定して資本効率重視の経営姿勢を明示している。