配当金の推移 2014年3月期〜2026年3月期
配当金の推移 （2014年3月期〜2026年3月期）
1株配当（円）配当性向（%）
| 決算期 | 中間円 | 期末円 | 年間円 | 調整後円 | EPS円 | 純利益億円 | 配当性向% | 株式数株 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2026年3月期 | — | — | 60 | 60 | 170.28 | 112 | 35.2 | 6,579万 |
| 1株 → 5株の株式分割 | ||||||||
| 2025年3月期 | — | — | 278 | 55.6 | 157.55 | 103 | 35.3 | 1,315万 |
| 2024年3月期 | — | — | 200 | 40 | 133.25 | 88 | 30.0 | 1,316万 |
| 1株 → 3株の株式分割 | ||||||||
| 2023年3月期 | — | — | 560 | 37.33 | 138.75 | 92 | 26.9 | 442万 |
| 2022年3月期 | — | — | 230 | 15.33 | 45.03 | 30 | 34.1 | 442万 |
| 2021年3月期 | — | — | 110 | 7.33 | 148.73 | 20 | 4.9 | 442万 |
| 2020年3月期 | — | — | 110 | 7.33 | 146.91 | 19 | 5.0 | 442万 |
| 2019年3月期 | — | — | 140 | 9.33 | 562.90 | 25 | 1.7 | 442万 |
| 10株 → 1株の株式併合 | ||||||||
| 2018年3月期 | — | — | 8 | 5.33 | 365.82 | 17 | 1.5 | 4,432万 |
| 2017年3月期 | — | — | 4 | 2.67 | 188.44 | 9 | 1.4 | 5,193万 |
| 2016年3月期 | — | — | 4 | 2.67 | 150.41 | 7 | 1.8 | 5,193万 |
| 2015年3月期 | — | — | 3 | 2 | 141.09 | 7 | 1.4 | — |
| 2014年3月期 | — | — | 2 | 1.33 | 7.83 | 4 | 17.0 | — |
2026年3月期に1株→5株の株式分割、2024年3月期に1株→3株の株式分割、2019年3月期に10株→1株の株式併合。分割・併合があると1株の大きさそのものが変わるため、開示値のままでは年をまたいで比べられない。「調整後」は各期の1株配当を2026年3月期の1株に換算した値で、増配か減配かはこの列で読む。2026年3月期に1株が5株に分かれたので、それより前の期の開示値は5で割ってある。さらに前の期は、その後に起きた変更の倍率をすべて掛け合わせている。中間・期末・年間は開示された額で、その期の1株に対して実際に支払われた金額を示す。株式数は大株主の持株数と持株比率から逆算した概数で、開示された発行済株式総数そのものではない。調整後の倍率は、この株数の変わり方から決めている。配当性向は、1年間の配当が1株当たり当期純利益（EPS）の何割にあたるかを示す。この表では「調整後 ÷ EPS」で計算している。EPSは連結で、株式分割・併合を遡及して調整した開示値。有報が載せる配当性向は提出会社（単体）の利益に対する比率なので、ここの値とは異なる。
2014年3月期の調整後 ＝ 2円 × 10（併合） ÷ 3（分割） ÷ 5（分割） ＝ 1.33円
出所: 有価証券報告書（2026年3月期）
半導体製造装置業界の配当 5社
株主構成と配当の受取先
株主構成と配当の受取先
所有者別の構成比
株主区分別の受取配当総額 （2026年3月期）
| 区分 | 比率% | 受取配当総額 |
|---|---|---|
| 外国法人 | 45.6% | 18億円 |
| 個人 | 26.4% | 10.4億円 |
| 金融機関 | 18.4% | 7.3億円 |
| その他法人 | 6.6% | 2.6億円 |
| 金融商品取引業者 | 2.8% | 1.1億円 |
| 合計 | 99.9% | 39.5億円 |
有価証券報告書の所有者別状況（単元ベースの比率）。開示値をそのまま積むため、 外国法人等のうち個人ぶんと丸めのぶんだけ、合計が100%に届かない期がある。
受取配当総額は、その期の配当支払総額を保有比率で割り振った概算。自己株式は所有者別状況で 「個人その他」に含まれるが配当は支払われないため、自社株を多く持つ社ほど個人の額は過大になる。
1株当たり配当金
配当性向
配当性向
2026年3月期 35.2%
期間平均（13期） 15.1%
| 決算期 | 配当性向 （%） | YoY | 基準 |
|---|---|---|---|
| 2014年3月期 | 17.0 | n/a | 連結 |
| 2015年3月期 | 1.4 | ▲15.6pt | 連結 |
| 2016年3月期 | 1.8 | +0.4pt | 連結 |
| 2017年3月期 | 1.4 | ▲0.4pt | 連結 |
| 2018年3月期 | 1.5 | +0.1pt | 連結 |
| 2019年3月期 | 1.7 | +0.2pt | 連結 |
| 2020年3月期 | 5.0 | +3.3pt | 連結 |
| 2021年3月期 | 4.9 | ▲0.1pt | 連結 |
| 2022年3月期 | 34.1 | +29.2pt | 連結 |
| 2023年3月期 | 26.9 | ▲7.2pt | 連結 |
| 2024年3月期 | 30.0 | +3.1pt | 連結 |
| 2025年3月期 | 35.3 | +5.3pt | 連結 |
| 2026年3月期 | 35.2 | ▲0.1pt | 連結 |
EPS
EPS
2026年3月期 170.28円
CAGR（13期） +29.3%
| 決算期 | EPS （円） | YoY | 基準 |
|---|---|---|---|
| 2014年3月期 | 7.83 | n/a | 連結 |
| 2015年3月期 | 141.09 | +1701.9% | 連結 |
| 2016年3月期 | 150.41 | +6.6% | 連結 |
| 2017年3月期 | 188.44 | +25.3% | 連結 |
| 2018年3月期 | 365.82 | +94.1% | 連結 |
| 2019年3月期 | 562.90 | +53.9% | 連結 |
| 2020年3月期 | 146.91 | ▲73.9% | 連結 |
| 2021年3月期 | 148.73 | +1.2% | 連結 |
| 2022年3月期 | 45.03 | ▲69.7% | 連結 |
| 2023年3月期 | 138.75 | +208.1% | 連結 |
| 2024年3月期 | 133.25 | ▲4.0% | 連結 |
| 2025年3月期 | 157.55 | +18.2% | 連結 |
| 2026年3月期 | 170.28 | +8.1% | 連結 |
配当金の支払額
配当金の支払額
2026年3月期 37億円
CAGR（12期） +39.0%
| 決算期 | 配当支払額 （億円） | YoY | 基準 |
|---|---|---|---|
| 2014年3月期 | n/a | n/a | 連結 |
| 2015年3月期 | 1 | n/a | 連結 |
| 2016年3月期 | 1 | +51.0% | 連結 |
| 2017年3月期 | 2 | +33.1% | 連結 |
| 2018年3月期 | 2 | ▲0.0% | 連結 |
| 2019年3月期 | 4 | +79.7% | 連結 |
| 2020年3月期 | 6 | +74.9% | 連結 |
| 2021年3月期 | 5 | ▲21.5% | 連結 |
| 2022年3月期 | 5 | ▲0.0% | 連結 |
| 2023年3月期 | 10 | +109.3% | 連結 |
| 2024年3月期 | 25 | +143.6% | 連結 |
| 2025年3月期 | 26 | +6.1% | 連結 |
| 2026年3月期 | 37 | +39.0% | 連結 |
自己株式の取得額
自己株式の取得額
2026年3月期 0億円
12期増減 +0億円
| 決算期 | 自社株買い （億円） | YoY | 基準 |
|---|---|---|---|
| 2014年3月期 | n/a | n/a | 連結 |
| 2015年3月期 | 0 | n/a | 連結 |
| 2016年3月期 | 0 | n/a | 連結 |
| 2017年3月期 | 0 | ▲100.0% | 連結 |
| 2018年3月期 | 25 | n/a | 連結 |
| 2019年3月期 | 0 | ▲100.0% | 連結 |
| 2020年3月期 | 0 | n/a | 連結 |
| 2021年3月期 | 0 | n/a | 連結 |
| 2022年3月期 | 0 | n/a | 連結 |
| 2023年3月期 | 0 | n/a | 連結 |
| 2024年3月期 | 11 | +113900.0% | 連結 |
| 2025年3月期 | 0 | ▲99.9% | 連結 |
| 2026年3月期 | 0 | +200.0% | 連結 |
総還元額
総還元額
2026年3月期 37億円
CAGR（12期） +39.0%
| 決算期 | 総還元額 （億円） | YoY | 基準 |
|---|---|---|---|
| 2014年3月期 | n/a | n/a | 連結 |
| 2015年3月期 | 1 | n/a | 連結 |
| 2016年3月期 | 1 | +52.0% | 連結 |
| 2017年3月期 | 2 | +32.2% | 連結 |
| 2018年3月期 | 27 | +1255.8% | 連結 |
| 2019年3月期 | 4 | ▲86.7% | 連結 |
| 2020年3月期 | 6 | +74.9% | 連結 |
| 2021年3月期 | 5 | ▲21.5% | 連結 |
| 2022年3月期 | 5 | ▲0.0% | 連結 |
| 2023年3月期 | 10 | +109.5% | 連結 |
| 2024年3月期 | 36 | +255.3% | 連結 |
| 2025年3月期 | 26 | ▲27.3% | 連結 |
| 2026年3月期 | 37 | +39.1% | 連結 |
総還元性向
総還元性向
2026年3月期 32.7%
期間平均（12期） 33.8%
| 決算期 | 総還元性向 （%） | YoY | 基準 |
|---|---|---|---|
| 2014年3月期 | n/a | n/a | 連結 |
| 2015年3月期 | 14.1 | n/a | 連結 |
| 2016年3月期 | 20.1 | +6.0pt | 連結 |
| 2017年3月期 | 21.2 | +1.1pt | 連結 |
| 2018年3月期 | 153.0 | +131.8pt | 連結 |
| 2019年3月期 | 14.3 | ▲138.7pt | 連結 |
| 2020年3月期 | 31.8 | +17.5pt | 連結 |
| 2021年3月期 | 24.7 | ▲7.1pt | 連結 |
| 2022年3月期 | 16.3 | ▲8.4pt | 連結 |
| 2023年3月期 | 11.1 | ▲5.2pt | 連結 |
| 2024年3月期 | 41.1 | +30.0pt | 連結 |
| 2025年3月期 | 25.5 | ▲15.6pt | 連結 |
| 2026年3月期 | 32.7 | +7.2pt | 連結 |
発行済株式数
大株主が受け取った配当 2026年3月期・1株60円
大株主が受け取った配当（2026年3月期・1株60円）
| 順位 | 株主名 | 持株数株 | 比率 | 年間受取配当額 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 日本マスタートラスト信託銀行株式会社（信託口）名義 | 7,340,000 | 11.16% | 4.4億円 |
| 2 | 信越エンジニアリング株式会社 | 3,895,000 | 5.92% | 2.3億円 |
| 3 | 株式会社日本カストディ銀行（信託口）名義 | 3,748,000 | 5.7% | 2.2億円 |
| 4 | STATE STREET BANK AND TRUST COMPANY 505001名義 | 2,885,000 | 4.38% | 1.7億円 |
| 5 | MORGAN STANLEY & CO.LLC | 2,250,000 | 3.42% | 1.4億円 |
| 6 | MSCO CUSTOMER SECURITIES | 2,150,000 | 3.27% | 1.3億円 |
| 7 | GOLDMAN SACHS INTERNATIONAL | 1,780,000 | 2.7% | 1.1億円 |
| 8 | BNY GCM CLIENT ACCOUNT JPRD AC ISG (FE-AC) | 1,075,000 | 1.63% | 65百万円 |
| 9 | MSIP CLIENT SECURITIES | 999,000 | 1.52% | 60百万円 |
| 10 | HSBC HONG KONG-TREASURY SERVICES A/C ASIAN EQUITIES DERIVATIVES | 885,000 | 1.34% | 53百万円 |
「名義」と添えた株主は信託口・管理口で、額はその名義で受け取る額。実際に受け取るのは、 信託した年金基金や投資信託の受益者にあたる。
株主還元の推移
株主還元の推移
配当（億円）自社株買い（億円）総還元性向（%）
各期の期末時点の社長藤田茂樹今村圭吾
| 決算期 | 配当億円 | 自社株買い億円 | 総還元額億円 | 総還元性向% | 社長 |
|---|---|---|---|---|---|
| 2026年3月期 | 37 | 0 | 37 | 32.7 | |
| 2025年3月期 | 26 | 0 | 26 | 25.5 | |
| 2024年3月期 | 25 | 11 | 36 | 41.1 | |
| 2023年3月期 | 10 | 0 | 10 | 11.1 | |
| 2022年3月期 | 5 | 0 | 5 | 16.3 | 今村圭吾 |
| 2021年3月期 | 5 | 0 | 5 | 24.7 | |
| 2020年3月期 | 6 | 0 | 6 | 31.8 | |
| 2019年3月期 | 4 | 0 | 4 | 14.3 | |
| 2018年3月期 | 2 | 25 | 27 | 153.0 | |
| 2017年3月期 | 2 | 0 | 2 | 21.2 | |
| 2016年3月期 | 1 | 0 | 1 | 20.1 | |
| 2015年3月期 | 1 | 0 | 1 | 14.1 | 藤田茂樹 |
配当金の支払額と自己株式の取得額は、連結キャッシュ・フロー計算書の財務活動区分から取る。期末配当は株主総会の承認後に支払うため、その期に対して決めた配当額とは1期ずれる。総還元性向は総還元額 ÷ 連結当期純利益で、赤字の期は出さない。社長は各期の期末時点で在任していた人で、交代のあった期は後任を採る。表の社長欄は代の区切りにあたる期にだけ氏名を置き、在任が続く期は空にする。