- FY02以降の社長は原田嘉晏・栗原権右衛門・大井泉の3名で、原田はFY02-FY07の6年間、栗原はFY08-FY18の11年間、大井はFY19-現任の長期と、近年20年で社長を交代している。
- 栗原権右衛門（FY08-FY18）は日本電子入社の生え抜きで、1948年5月生。リーマンショック直後のFY08（売上838億円・経常損失27億円）から事業を立て直し、FY17時点で売上1,045億円まで回復させた経営者である。
- 大井泉社長（FY19-現任）は1964年1月生、日本電子入社の生え抜きで、就任当初の代表取締役社長兼COOからFY22に代表取締役社長兼CEOへ昇格し、半導体・先端計測事業の伸長を主導している。