- 1952年8月の創業以来、データ整備可能なFY96以降の代表取締役社長は諏訪秀則氏（FY05〜FY10）、小日向久治氏（FY11〜FY15）、岩下節生氏（FY16〜現任）の3名で、いずれもアルバック生え抜き出身者である。社長交代は概ね5〜10年ごとの内部昇進型で行われ、創業期から続く真空技術専業メーカーの技術系経営者継承を維持している。
- 諏訪秀則氏の任期はFY05〜FY10（社長執行役員制移行前）で、2004年4月の東証一部上場（FY03）から、リーマンショックを挟むFY09・FY10 売上高2,200億円台までの拡大期を率いた。後継の小日向久治氏（FY11-FY15）は代表取締役執行役員社長制下で2010年代前半の市場調整期を担当、FY12 連結純損失38億円・FY13 連結純損失49億円という業績下振れ期を通じて事業ポートフォリオの再整理を進めた。
- 現任の岩下節生氏（FY16就任、2025年7月にCEO肩書追加）は、中国半導体投資の本格化局面で半導体・FPD製造装置の海外売上比率を拡大、FY17 売上高2,492億円・営業利益353億円のピーク水準を実現した。コロナ禍を経たFY21 売上高2,412億円・FY23 売上高2,611億円・FY24 売上高2,512億円と高水準を維持し、SiCパワー半導体・EV電池・有機EL向け装置への先行投資を継続している。