SCREEN HD 枚葉式ウエハ洗浄への転換 300mm対応装置の先行量産
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何をなぜ決めたか
- 概要
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2000年、大日本スクリーン製造（現SCREENホールディングス）が、複数のウエハを薬液槽でまとめて洗う"バッチ式"に対し、300ミリの大口径ウエハと回路の微細化を見据えて、ウエハを1枚ずつ洗う"枚葉式"に賭けた技術選択。300ミリ対応の枚葉式洗浄装置を業界に先んじて投入し、量産化を進めた。石田明社長のもと、半導体市況の悪化のなかでも開発と量産を続けた。
- 背景
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回路線幅の微細化でウエハに残る微細なごみ（パーティクル）の管理が歩留まりを左右し、ウエハが200ミリから300ミリへ大口径化するなか、まとめ洗いのバッチ式では1枚ごとの洗浄条件を細かく揃えにくくなっていた。1枚ずつ確実に洗い、処理時間も短い枚葉式への需要が高まっていた。
- 内容
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2000年11月、300ミリ対応の枚葉洗浄装置"AQUASPIN MP-3000"を販売開始。デザインルール0.13マイクロメートル以下に対応し、1枚のウエハを1つのチャンバーで薬液処理から乾燥まで仕上げる方式を採った。2003年にはユニットを組み替えられる共通プラットフォーム"SU-3000"へ、2006年には毎時300枚の"SU-3100"へと広げた。
- 含意
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量産効率で勝るバッチ式を守るのではなく、微細化と300ミリに合わせて枚葉式へ資源を集中したこの選択は、のちに枚葉式が先端の洗浄工程で主流となる流れを先取りした。SCREENは枚葉式・バッチ式の双方の洗浄装置で世界首位のシェアに立った。
いつ何が起きたか 6件
筆者の見解
足元の効率を守るか、次の技術に張るか
この決断の核心は、当時の主流だったバッチ式の量産効率を守るのではなく、微細化と300ミリという技術の変化に賭けて、1枚ずつ洗う枚葉式へ資源を集中した点にある。まとめ洗いは一度に多くを処理できる強みを持つ一方、回路が細くなるほど1枚ごとの洗浄条件を揃えにくい。大日本スクリーンは、半導体市況が悪化し各社が投資を絞りがちな時期に、あえて先の技術に張った。効率という足元の強みと、微細化という将来の要請が衝突したとき、後者を選んだ判断だったといえる。
その選択は、のちに報われた。枚葉式は先端の洗浄工程で主流となり、SCREENは枚葉式・バッチ式の双方の洗浄装置で世界首位のシェアに立った。SU-3000で築いた共通プラットフォームは、SU-3100、SU-3200と世代を重ねて処理能力を上げ、いまや枚葉式は同社の中核事業を支える。もっとも、この判断が正しかったと言えるのは、その後も微細化が進み、枚葉式の優位が続いたからでもある。足元の量産効率を守るか、次の技術に張るか——2000年前後のこの技術選択は、装置産業が繰り返し向き合う問いを、早い時期に自ら選び取った例として残る。
Yutaka Sugiura, 2026年7月
業績の推移
同じ問いに直面した会社
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参考文献
- 株式会社SCREENホールディングス（旧・大日本スクリーン製造）プレスリリース（2000年11月30日）「多品種・少量生産に最適な300mm対応枚葉洗浄装置を販売開始」
- 株式会社SCREENホールディングス（旧・大日本スクリーン製造）プレスリリース（2003年11月27日）「複数の洗浄装置機能を組み合わせる枚葉式洗浄装置を発売」
- 株式会社SCREENホールディングス（旧・大日本スクリーン製造）プレスリリース（2006年11月21日）「枚葉式ウエハー洗浄装置の新機種「SU-3100」を発売」
- 『企業の歴史 : 明治百年』（経済春秋社編、1968年）「大日本スクリーン製造」の項